सॉलिड-स्टेट बैटरी निर्माण प्रक्रिया में, थर्मल नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है; इसके लिए वेफरों की सटीकता के समान ही सख्त नियंत्रण आवश्यक है। यदि “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, या सब्सट्रेट पर कहीं ठंडा हिस्सा रह जाए, तो लिथोग्राफी प्रक्रिया पर असर पड़ता है, एवं इंटरफेस परतों में दोष उत्पन्न हो जाते हैं। हमने ऐसा थर्मल नियंत्रण तंत्र विकसित किया है, ताकि प्रक्रिया के हर चरण में तापमान का नियंत्रण बना रहे।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों एवं तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज एमिटरों का उपयोग करते हैं, ताकि ऊष्मा सीधे सब्सट्रेट तक पहुँच सके। एक्टिव जोन में वेफरों की सटीकता ±0.1°C तक रहती है, जबकि शॉट-टू-शॉट पुनरावृत्ति में यह मान ±0.5°C से कम रहता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम करता है, एवं हम इसकी जाँच भी करते हैं। “सॉफ्ट बेक” से लेकर “हार्ड बेक” तक, फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता स्थिर रहती है; तापमान नियंत्रण मिलीसेकंडों में ही हो जाता है – लंबे समय तक तापमान में कोई परिवर्तन नहीं होता।
सॉलिड-स्टेट बैटरी निर्माण में इसका क्या लाभ है?
इस प्रक्रिया में वेफरों को सुखाने, फोटोरेजिस्ट को पहले से गर्म करने, एवं इंटरफेसों को सुखाने की प्रक्रियाएँ लगातार ही होती हैं। इन्फ्रारेड तरंगें प्रक्रिया के समय को कम करती हैं, जबकि बंद-लूप नियंत्रण महत्वपूर्ण आयामों को निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रखता है। इससे तापमान नियंत्रण बेहतर होता है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है – क्योंकि ऊर्जा फिल्म एवं सब्सट्रेट में ही जाती है, चेम्बर में नहीं। प्रक्रिया अधिक सुव्यवस्थित हो जाती है, एवं उत्पादन दर भी पूर्वानुमेय हो जाती है।
जो बातें आपको पहले ही जाननी आवश्यक हैं…
इस प्रक्रिया को लागू करना आसान है, लेकिन एमिटर एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी को सटीक रूप से निर्धारित करना आवश्यक है – क्योंकि इसी से सटीकता निर्धारित होती है। अपनी विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार रेसिपी एवं समय-सीमाओं को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। एमिटरों की उम्र 5,000 घंटों से अधिक होती है, एवं तापमान नियंत्रण हमेशा सटीक रहता है। हम हर 2,000 घंटों में ही एमिटरों का नियंत्रण करते हैं, ताकि तापमान नियंत्रण बना रहे।