फैब्रिकेशन लेवल पर, फोटोरेजिस्ट को नरम बेक करते समय 0.5°C का अंतर ही पूरे उत्पाद को बर्बाद करने के लिए पर्याप्त है। जब तापीय संरचना पूरी सतह पर समान रूप से लागू नहीं हो पाती, तो वेफर सूखने की प्रक्रिया विफल हो जाती है। इस समस्या को दूर करने हेतु हमने PID-नियंत्रित सेमीकंडक्टर हीटर बनाए; ऐसे हीटरों में इन्फ्रारेड नियंत्रण प्रणाली है, जिससे वेफर के स्तर पर तापीय स्थिरता बनी रहती है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने तेज़ प्रतिक्रिया वाले इन्फ्रारेड एमिटर को उच्च-रिज़ॉल्यूशन वाले PID कंट्रोलर के साथ जोड़ा है; इससे प्लेट का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक की प्रक्रियाओं में एकरूपता बनी रहती है, एवं महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण भी बना रहता है। यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी काम कर सकता है; इसके डिज़ाइन के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है। कंट्रोलर, विभिन्न प्रक्रियाओं संबंधी जानकारियों को संग्रहीत करता है; इससे ऑडिट में कोई परेशानी नहीं होती।
लिथोग्राफी एवं सूखने की प्रक्रिया में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी में, फोटोरेजिस्ट की चिपचिपाहट को नियंत्रित करने एवं अनावश्यक घटकों को हटाने हेतु नियमित “सॉफ्ट बेक” आवश्यक है। वेफर सूखने की प्रक्रिया में, सफाई एजेंटों को हटाने हेतु नियंत्रित तापमान आवश्यक है। हमारा इन्फ्रारेड PID विधि, तेज़ गति से तापमान नियंत्रण करने में सहायक है; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं बर्बाद होने वाला सामग्री भी कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊष्मा केवल आवश्यकता के समय ही प्रदान की जाती है। यह सिस्टम लगातार काम कर सकता है, एवं अनप्लान्ड डाउनटाइम भी न्यूनतम ही रहता है।
ऐसी स्थापना जिसे नज़रअंदाज़ नहीं किया जा सकता
इन्फ्रारेड हीटरों के लिए सटीक संरेखण एवं स्वच्छ प्रकाश मार्ग आवश्यक है। PID पैरामीटरों को अपने वास्तविक लोड एवं तापीय संरचना के अनुसार समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। यह सुनिश्चित करें कि आपके उपकरण का इंटरफ़ेस हीटर के कनेक्टर एवं नियंत्रण सिग्नलिंग से मेल खाता हो। एक बार संरेखण हो जाने के बाद ही यह सिस्टम काम कर सकता है… इसलिए यह स्थापना अनिवार्य है।