अपने वेफरों को साफ रखना: वैक्यूम IR हीटरों की वास्तविकता
उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन करने वाले कारखानों में, लैंपों में खराबी आना एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में मशीन कुछ समय के लिए ही रुक जाती है… लेकिन यदि वैक्यूम चैंबर में मौजूद क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं हानिकारक गैसें हर जगह फैल जाती हैं। ऐसी स्थिति में पूरी बैच के वेफर खराब हो सकते हैं।
इसीलिए हम केवल हीटर बनाते ही नहीं… बल्कि ऐसे हीटर बनाते हैं जो सुरक्षित रूप से ही काम कर सकें।
ऊष्मा से निपटना
वैक्यूम में ऊष्मा का व्यवहार अलग होता है… क्योंकि वहाँ हवा नहीं होती, इसलिए लैंप को ऊष्मा को फैलाने हेतु विकिरण का उपयोग करना ही पड़ता है। इससे क्वार्ट्ज पर भारी दबाव पड़ता है।
तेज गर्मी/ठंडक की स्थितियों में ट्यूबों के टूटने से बचने हेतु, हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसा क्वार्ट्ज सस्ते क्वार्ट्ज की तुलना में बहुत कम ही सिकुड़ता/फैलता है… इसलिए यह दबाव को सहन कर सकता है।
“सुरक्षा उपाय”
हम यह मानते हैं कि कुछ तो गड़बड़ हो ही सकती है… इसलिए हम ऐसे उपाय भी करते हैं।
हमारे अधिकांश हीटरों में द्वितीयक सुरक्षा व्यवस्था भी होती है… यदि मुख्य ट्यूब खराब हो जाती है, तो यह सुरक्षा व्यवस्था फिलामेंट एवं अन्य कचरे को आपके उत्पादन क्षेत्र में फैलने से रोकती है। हम सीलों हेतु वैक्यूम-ग्रेड के सिरेमिक एवं धातुओं का उपयोग भी करते हैं… क्योंकि हम नहीं चाहते कि कोई छोटा-सा कण भी वेफरों में घुस जाए।
ऊर्जा संबंधी समस्याएँ
यहाँ समस्या यह है कि हर कोई तेज गति से काम करना चाहता है… लेकिन ऐसा करने हेतु अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है। लेकिन यदि बहुत अधिक ऊर्जा का उपयोग किया जाए, तो हैलोजन गैस का दबाव बढ़ जाता है… इसलिए यह एक संतुलन की समस्या है… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि वैक्यूम पंप ऐसी स्थितियों को संभाल सके।
एक बात और… चक्र के समय को कुछ सेकंड कम करने हेतु लैंपों पर अत्यधिक दबाव न डालें… ऐसा करने से लैंप जल्दी ही खराब हो जाएंगे।
हम ऐसे हीटर बनाते हैं जो 24/7 उत्पादन की परिस्थितियों में भी काम कर सकें… क्वार्ट्ज की गुणवत्ता एवं सीलों पर ध्यान देकर, हम यह सुनिश्चित करते हैं कि वेफरों पर केवल ऊष्मा ही पड़े।