फैब ड्राइंग प्रक्रिया में संदूषण को रोकना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको पहले से ही पता होगा कि एक छोटा सा धूल का कण भी वेफरों की गुणवत्ता को नष्ट कर सकता है। यह बहुत ही निराशाजनक है। अधिकांश हीटिंग तत्व ही इसके लिए जिम्मेदार हैं – ऐसे तत्वों से धूल के कण निकलने लगते हैं, जबकि उनका स्थिर रहना आवश्यक है।
इसी कारण हमने अपने आईआर लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग किया। ऐसा करने से संदूषण रुक जाता है।
यह क्यों कारगर है?
सामान्य काँच, उच्च तापमान को सहन नहीं कर पाता, और इसके कारण सूक्ष्म कण निकलने लगते हैं। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं, क्योंकि यह उच्च तापमान पर भी ठोस ही रहता है।
हमने ऐसे तत्वों का उपयोग भी नहीं किया, जो पहले ही चक्रों में जल जाएँ… कोई चिपकने वाले पदार्थ, कोई कार्बनिक परतें… कुछ भी ऐसा नहीं, जिससे प्रक्रिया खराब हो।
हम शॉर्ट-वेव आईआर विकिरण का भी उपयोग करते हैं… ऐसे में वेफर के आसपास की हवा गर्म नहीं होती, और फर्श से कम कण उड़ते हैं। बहुत ही सरल।
निर्माण प्रक्रिया
हमने ऐसे लैंपों का निर्माण किया है, जिन्हें आसानी से लगाया जा सकता है… आपको पूरे ड्राइंग मॉड्यूल को फिर से बनाने की आवश्यकता नहीं है… हमने प्रीसिजन-मशीन्ड एंड कैपों का उपयोग किया है, ताकि हवा अंदर न जा सके… ऐसे में फिलामेंट ऑक्सीकृत नहीं होता।
परिणाम? एक स्वच्छ, शुद्ध ऊष्मा स्रोत… कोई धात्विक आयन, कोई कार्बन अवशेष… कुछ भी नहीं। उन इंजीनियरों के लिए, जो ड्राइंग प्रक्रिया के दौरान होने वाले संदूषण से परेशान हैं, यही समाधान है।