फैब फ्लोर पर, सुखाने हेतु खर्च किया गया हर जूल, वह ऊर्जा है जिसका उपयोग प्रक्रिया में नहीं किया जा सकता। पारंपरिक सुखाने वाले उपकरणों में थर्मल देरी की भरपाई हेतु अतिरिक्त ऊर्जा खर्च होती है; इससे ऊर्जा की बर्बादी होती है, एवं फोटोरेसिस्ट प्रोफाइलों पर भी प्रभाव पड़ता है। हमने ऐसा सुखाने वाला उपकरण विकसित किया है, जिससे ऊर्जा की बर्बादी कम होती है, एवं लिथोग्राफी-ग्रेड का थर्मल नियंत्रण भी बना रहता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम मध्य-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड उत्सर्जकों का उपयोग करते हैं; इनके साथ क्लोज्ड-लूप थिन-फिल्म सेंसर भी होते हैं। इससे वेफर पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखा जा सकता है। इससे बार-बार एक ही तरह के परिणाम प्राप्त होते हैं, एवं CD नियंत्रण भी बेहतर होता है। यह उपकरण 230 VAC पर काम करता है; इसका आकार छोटा है, एवं उत्सर्जकों को आसानी से बदला जा सकता है। क्लीनरूम में इसका उपयोग करने पर कोई कण उत्पन्न नहीं होता; इसकी जाँच इन-लाइन मॉनिटरिंग द्वारा की जाती है। तेज़ प्रतिक्रिया के कारण ऊर्जा की खपत कम होती है; इससे थर्मल बजट भी बना रहता है।
व्यवहारिक रूप से यह क्यों कारगर है?
सुखाने का मतलब केवल विलायकों को निकालना ही नहीं है; बल्कि एक्सपोजर से पहले एवं ट्रैक कनेक्शन होने से पहले फिल्म को स्थिर रखना भी है। इस उपकरण के उपयोग से प्रक्रिया में लचीलापन बना रहता है, एवं प्रति बैच में खर्च होने वाली ऊर्जा भी कम होती है। वेफर पर समानता होने से किनारों पर बनने वाली समस्याएँ एवं अवशेष कम हो जाते हैं; इससे अपशिष्ट एवं पुनः कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। हमने इस उपकरण को 24/7 चलने वाली मशीनों में भी उपयोग में देखा है; इससे कोई अनप्लान्ड डाउनटाइम नहीं होता। इसके अलावा, इसके कारण उत्पादों की गुणवत्ता भी बेहतर होती है।
आपको पहले ही क्या जानना आवश्यक है?
रीट्फिटिंग हेतु मौजूदा ट्रैक इंटरफेस के अनुरूप उपकरण को सेट करना आवश्यक है। PID मैप को चैंबर की ज्यामिति एवं विलायकों की मात्रा के अनुरूप सेट करने में थोड़ा समय लगता है। इसके बाद आपको एक ऐसा उपकरण मिल जाता है, जो अंतरराष्ट्रीय मानकों के अनुरूप है, एवं पुराने सुखाने वाले उपकरणों का वैकल्पिक विकल्प भी है।