ייבוש נכון של שבבי MEMS
כאשר מייצרים חיישני MEMS, הסרת הלחות מהשבב היא משימה לא פשוטה. יש צורך שהשבב יהיה יבש, אך אי אפשר פשוט לחמם אותו באמצעות חום גבוה – אחרת החומר שעליו נמצא השבב עלול להינזק, ויישארו שאריות של לחות על השבב.
כאן נכנסים לתמונה מחממי האינפרא-אדום שלנו. אנו משתמשים בלמפות קוורץ בעלות עוצמה גבוהה, שמאפשרות ייבוש מהיר של השטח בתוך כמה שניות. זה מהיר מאוד.
האיזון בין עוצמת החום לבין האנרגיה
העניין הוא שאי אפשר פשוט להגדיל את עוצמת החום – אחרת ייווצרו אזורים חמים מדי שעלולים לפגוע בשבבים.
אנו משקיעים הרבה זמן בקביעת השילוב הנכון של עוצמת החום והמתח, בהתאם לגודל החדר בו מתבצע הייבוש. כן, עוצמת חום גבוהה יכולה לשפר את קצב הייצור, אך היא גם יוצרת לחץ גדול על מערכת החשמל. יש לשחק עם מרחק הלמפות מהשבב ועם משך זמן הפעולה שלהן, כדי שטמפרטורת השטח תהיה ברמה הנכונה.
הרכיבים הפנימיים של המחממים
אנו משתמשים בקוורץ בעל טוהר גבוה לייצור הלמפות. למה? כי הדבר האחרון שרוצים זה שגזים יזהמו את חדר הייצור הנקי.
אנו גם משתמשים בציפויים בעלי גלים קצרים. קרינת אינפרא-אדום בעלת גלים קצרים מסוגלת לחדור את שכבת הלחות בצורה טובה יותר מאשר קרינת אינפרא-אדום בעלת גלים ארוכים. ומכיוון שהלמפות כאלה דולקות וכבות כל הזמן, אנו משתמשים בחיבורים עמידים, כדי שהן לא ייהרסו לאחר מספר שבועות.
האתגרים האמיתיים
בואו נהיה כנים: התקנת מחממים אלה במפעל לייצור MEMS אינה דבר פשוט. עוצמת החום גבוהה מאוד. אם אין מערכת קירור טובה או מערכת פליטה יעילה, החום יחדור לגוף המכשיר. וכאשר הרכיבים האלקטרוניים סביב השבב מתחילים להיפגע בגלל החום הגבוה, יש בעיה אמיתית.
כמה טיפים מהשטח:
יש להשתמש בלמפות שניתן להחליפן בקלות. זה מקל על התחזוקה ומפחית את זמן הכיבוי של המכשיר. כמו כן, יש להשתמש תמיד בפירומטר מדויק כדי לבדוק את טמפרטורת השטח לפני שמתחילים את תהליך הייצור. זה צעד קטן שיכול לחסוך הרבה סיליקון.