Pourquoi utilisons-nous de l’or pour éviter le gaspillage d’énergie ? Si vous constatez une consommation d’énergie élevée pendant le traitement des wafers, mais que les températures ne sont pas à leur niveau souhaité, c’est probablement parce qu’il y a un problème de géométrie. En d’autres termes, l’énergie thermique s’échappe plutôt que de se diriger vers le wafer. C’est un gaspillage total d’électricité.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or.
Ce n’est pas pour l’apparence… Soit clair : nous n’utilisons pas de l’or simplement pour donner un aspect plus luxueux à la machine. Les réflecteurs en aluminium standard absorbent trop d’énergie. L’or, lui, est extrêmement efficace pour renvoyer la lumière infrarouge là où elle doit aller.
En utilisant une couche d’or, nous pouvons concentrer le flux d’énergie. Résultat : vous atteignez la température souhaitée sur le wafer, sans avoir besoin d’augmenter la puissance fournie par l’alimentation électrique. Votre facture d’électricité vous remercera, et votre matériel fonctionnera à des températures plus basses.
Diriger l’énergie exactement là où il faut L’objectif principal est de maximiser la densité thermique. Personne ne veut de “zones froides” sur le wafer : cela entraîne des résultats incohérents et beaucoup de matériau perdus.
Nous modifions la courbure de ces réflecteurs pour diriger précisément l’énergie vers la zone cible. Cela accélère considérablement le temps de chauffage. De plus, cela permet d’obtenir un profil thermique plus uniforme. Ainsi, les bords du wafer ne subissent pas de chocs excessifs, et toute la surface est traitée de manière uniforme.
Les inconvénients… et comment y remédier Le problème, c’est que lorsque l’énergie est concentrée à ce point, le boîtier du réflecteur est mis à rude épreuve. Alors que le wafer reçoit l’énergie nécessaire, le boîtier subit une forte pression thermique.
C’est là que les systèmes de refroidissement entrent en jeu. Si le flux d’air est insuffisant, le boîtier va surchauffer. Une fois cela arrivé, la couche d’or commence à se dégrader, ce qui réduit considérablement l’efficacité du système.
Il est donc important de surveiller la surface en or. Si elle s’encrasse ou s’oxyde, l’énergie rayonnée diminue immédiatement. Vous devrez alors augmenter la puissance des chauffages pour compenser. C’est une lutte perdue d’avance. Il faut donc garder la surface propre et assurer un bon flux d’air ; ainsi, le système fonctionnera correctement.