Sur le site de fabrication, une déviation de 0,5 °C pendant le processus de séchage du photorésiste suffit pour que tout devienne des déchets. Le séchage des wafers échoue dès que le profil thermique ne peut plus être maintenu sur toute la surface du wafer. Nous avons donc conçu des chauffages à semi-conducteurs contrôlés par PID, avec un système de contrôle infrarouge en boucle fermée, afin d’assurer une stabilité thermique au niveau du wafer.
Ce qui est important en réalité Nous combinons un émetteur infrarouge à réponse rapide avec un contrôleur PID à haute résolution, ce qui permet de maintenir la température de la plaque à ±0,1 °C. Cela garantit des profils de séchage répétables, ainsi qu’une uniformité entre les différents wafers, ce qui est essentiel pour contrôler correctement les dimensions critiques. Le système convient aux salles propres de classe 1–100. Son design permet également de réduire au minimum la génération de particules, en évitant l’utilisation de filaments chauds exposés et en limitant les turbulences convectives. Pour ce qui est de la mémoire des paramètres de traitement, le contrôleur stocke plusieurs configurations possibles et enregistre les données de température – ce qui facilite les audits, sans nécessiter de travail supplémentaire.
Pourquoi c’est important en lithographie et en séchage En lithographie, il est nécessaire de disposer d’un processus de séchage uniforme pour ajuster la viscosité du photorésiste et éliminer les solvants sans endommager la surface du wafer. En ce qui concerne le séchage des wafers, il est indispensable d’avoir un contrôle précis de la chaleur afin d’éliminer efficacement les agents de nettoyage et d’éviter leur redeposition. Notre système à contrôle infrarouge PID assure cette répétabilité, avec des changements rapides de paramètres de régulation. Ainsi, les temps de traitement diminuent, tout comme les déchets produits. L’utilisation d’énergie diminue également, car la chaleur est produite uniquement lorsque c’est nécessaire, et le système continue de fonctionner sans arrêt, avec un minimum d’indisponibilité imprévue.
L’étape indispensable Les chauffages infrarouges exigent une alignement précis et un chemin optique propre pour rester stables. Il est donc nécessaire de prévoir un court période de mise en service pour ajuster les paramètres PID en fonction de la charge réelle et de la masse thermique du système. De plus, l’interface du dispositif doit correspondre au connecteur et aux signaux de commande du chauffage. Une fois aligné, le système fonctionne correctement – mais cette étape d’installation est indispensable.