Arrêtez de chauffer vos équipements (et commencez plutôt à chauffer vos wafers !)
Si vous avez déjà utilisé un système de chauffage résistif classique, vous savez à quel point c’est problématique. On essaie de chauffer un wafer, mais en réalité, c’est toute la chambre interne qui se réchauffe. C’est un gaspillage d’énergie, et c’est vraiment ennuyeux. Personne n’aime avoir affaire à des équipements dont les parois deviennent dangereusement chaudes au toucher.
Nous avons pensé qu’il existait une meilleure solution. Au lieu de chauffer tout l’air autour du wafer, nous utilisons des lampes à infrarouges directionnelles.
Le truc : ces lampes émettent des rayonnements électromagnétiques directement vers le wafer. Comme nous utilisons des infrarouges à longue vague, l’énergie atteint directement le matériau, sans affecter l’air environnant. Résultat ? Le wafer reçoit la chaleur dont il a besoin, tandis que les parois de l’appareil restent froides.
Les détails techniques
Nous ne utilisons pas de verre bon marché pour ces lampes. Elles sont enveloppées dans du quartz à haute densité, afin qu’elles ne se brisent pas lorsque la température change rapidement.
Pour améliorer encore l’efficacité, nous ajustons la distance focale et ajoutons un revêtement réfléchissant. Cela permet de concentrer la chaleur exactement là où elle est nécessaire. Ainsi, on obtient une chaleur ciblée, sans que cela affecte les autres zones.
Précautions nécessaires
Ce n’est pas de la magie. Il y a quelques points à prendre en compte.
Le plus grand défaut est l’uniformité de la chaleur. Comme la chaleur est très ciblée, l’alignement est essentiel. Si la lampe n’est pas bien alignée, il y aura des écarts de température sur le wafer. Il faudra donc prendre le temps de bien ajuster la position de la lampe et l’angle du réflecteur pour éviter ces zones froides.
N’oubliez pas non plus le système de ventilation. Même si les parois restent froides, le wafer lui-même est soumis à une chaleur intense. Si votre système de vide ne suffit pas, vous pourriez rencontrer des problèmes liés aux adhésifs ou aux contaminants présents dans le matériel. Assurez-vous que vos systèmes de vide peuvent supporter la température maximale visée.