نگهداری وافرها در حالت تمیز: واقعیت استفاده از گرمکنهای مبتنی بر اشعه مادون قرمز در شرایط خلأ
در کارخانههای تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپها یک فاجعه محسوب میشود. مسئله فقط متوقف شدن دستگاه برای مدت کوتاهی نیست؛ اگر لوله کوارتز درون محفظه خلأ پاره شود، تکههای شیشه و گازهای سمی در همه جا پخش خواهند شد. خرابی یک لامپ میتواند کل محموله وافرها را در عرض لحظات آلوده کند.
به همین دلیل، ما فقط گرمکنهایی را ساخته نمیکنیم؛ بلکه آنها را به گونهای طراحی میکنیم که در صورت خرابی، به طور ایمن عمل کنند.
مقابله با گرما
گرما در شرایط خلأ رفتار متفاوتی دارد؛ از آنجایی که هوایی برای انتقال گرما وجود ندارد، لامپ باید تمام کارهای مربوط به انتقال گرما را از طریق تابش انجام دهد. این امر باعث فشار زیادی بر روی کوارتز میشود.
برای جلوگیری از ترک خوردن لولهها در طول چرخههای گرمایش و سرمایش سریع، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم. این ماده تقریباً به اندازه کوارتز ارزانقیمت انبساط یا انقباض نمیکند؛ بنابراین میتواند تحت فشارهای زیاد نیز عمل کند.
رویکرد «حفاظت اضافی»
ما فرض میکنیم که ممکن است مشکلاتی پیش بیاید؛ بنابراین یک سیستم حفاظتی اضافی نیز در نظر میگیریم.
اکثر گرمکنهای ما دارای غلاف حفاظتی یا پوشش ویژهای هستند؛ این غلافها مانند یک قفس ایمنی عمل میکنند. در صورت خرابی لوله اصلی، این غلافها مانع از پخش شدن تکههای شیشه و ذرات مختلف در منطقه فرآوری میشوند. همچنین از سرامیکها و فلزات مناسب برای ایجاد محافظت در نقاط اتصال استفاده میکنیم؛ زیرا آخرین چیزی که میخواهیم این است که تکههای کوچکی از ذرات به وافرها نفوذ کند.
مشکلات مربوط به توان
مشکل اینجاست که همه میخواهند زمان رسیدن به دمای مورد نظر را کوتاه کنند. برای رسیدن به این سرعت، به توان بالایی نیاز است؛ اما اگر توان زیادی به یک لوله کوچک وارد شود، فشار گاز هالوژن درون لوله افزایش مییابد. این یک مسئله تعادلی است؛ باید مطمئن شویم که پمپ خلأ بتواند در صورت خرابی، گازهای اضافی را خارج کند.
همچنین، مراقب باشید که لامپها را بیش از حد فشار ندهید؛ زیرا این کار باعث خرابی زودهنگام لامپها میشود.
ما این دستگاهها را به گونهای طراحی میکنیم که بتوانند در شرایط تولید ۲۴ ساعته کار کنند. با توجه به کیفیت کوارتز و سیستمهای حفاظتی، مطمئن میشویم که تنها چیزی که به وافرها برخورد میکند، گرما باشد.