دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در اتاقهای تمیز هدر برود!
اگر تا به حال وقتی را صرف گرم کردن ویفرهای سیلیکونی کردهاید، میدانید که چقدر این کار آزاردهنده است. انرژی زیادی وارد فر میشود، اما بخش عمدهای از آن انرژی از بین میرود؛ یا به دیوارهها برخورد کرده و یا به داخل بدنه فر نفوذ میکند. این کار، هم اتلاف انرژی است و هم اتلاف وقت.
ما راهی برای جلوگیری از این اتلاف پیدا کردهایم. ما از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم تا تمام انرژی تولید شده را به سمت ویفر هدایت کنیم.
چرا طلا؟
شاید این موضوع جالب به نظر برسد، اما در واقع مربوط به قوانین فیزیک است. طلا در بازتاب انرژی مادون قرمز بسیار خوب عمل میکند.
در مقایسه با آلومینیوم یا فولاد صیقلی، که با گذشت زمان اکسید میشوند، طلا چنین مشکلی ندارد. طلا همچنان درخشان و کارآمد باقی میماند؛ گرما را به سمت ویفر هدایت میکند و اجازه نمیدهد گرما در داخل ماشین جذب شود.
هدایت گرما به جای مناسب آن
وقتی که از این بازتابندههای طلا همراه با لامپهای مادون قرمز با تراکم بالا استفاده کنیم، میتوانیم پرتو انرژی بسیار قوی و متمرکزی داشته باشیم.
این تفاوتی مانند تفاوت بین لامپ عادی و لیزر است؛ شما فقط هوای اطراف ویفر را گرم نمیکنید، بلکه فوتونها مستقیماً به سمت ویفر ارسال میشوند. این کار باعث میشود زمان لازم برای گرم کردن ویفر کاهش یابد، و شما بتوانید دمای سطح کل ویفر را به راحتی کنترل کنید.
مشکلات احتمالی
البته، یک معایبی نیز وجود دارد.
از آنجایی که ما تمام گرما را به خوبی متمرکز میکنیم، بدنه لامپ بسیار گرم میشود. اگر از فنهای خنککننده مناسب استفاده نکنید، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. جریان هوای ضعیف میتواند باعث آسیب به لامپ شود. همچنین، باید به سیستم تأمین انرژی نیز توجه کنید؛ این سیستمها فضای کمی اشغال میکنند و به راحتی میتوان آنها را در خطوط تولید موجود نصب کرد، اما وقتی که شروع به کار میکنند، مقدار زیادی انرژی مصرف میکنند. اگر کلید برق شما کافی نباشد، هر بار که فر شروع به کار میکند، مجبور خواهید بود مدام به سمت پنل برق بروید. این روش خوبی برای گذراندن بعدازظهر نیست!