In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,5 °C während des Weichbrennvorgangs aus, um einen großen Teil der Produkte unbrauchbar zu machen. Das Trocknen der Wafern funktioniert nicht mehr, sobald das thermische Profil auf der gesamten Oberfläche nicht konstant bleibt. Wir haben PID-gesteuerte Halbleiterheizer entwickelt, um diese Schwankungen zu beseitigen – mit einer geschlossenen Schleifensteuerung, die auf die thermische Stabilität der Wafer abgestimmt ist.
Was wirklich wichtig ist
Wir kombinieren einen schnell reagierenden Infrarotstrahler mit einem hochpräzisen PID-Controller, wodurch die Platten Temperatur bei ±0,1 °C gehalten wird. Dadurch entstehen wiederholbare Brennprofile – sowohl beim Weichbrennen als auch beim Hartbrennen – und es wird eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der Waferoberfläche gewährleistet, was wiederum dazu beiträgt, die kritischen Abmessungen unter Kontrolle zu halten. Das System eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. Durch das Vermeiden von offenen Heizfilamenten sowie durch die Begrenzung der Konvektionsströmungen wird die Erzeugung von Partikeln auf ein Minimum reduziert. Für die Prozessdatenerfassung speichert der Controller mehrere Rezepte sowie Temperaturdaten – somit kann man jederzeit nachvollziehen, wie der Prozess abgelaufen ist, ohne zusätzliche Arbeit.
Warum das in der Lithografie und beim Trocknen wichtig ist
In der Lithografie ist ein konstanter Weichbrennvorgang notwendig, um die Viskosität des Fotolacks zu regulieren und Lösungsmittel zu entfernen, ohne dass es zu Problemen kommt. Beim Trocknen der Wafern ist kontrollierte Wärme erforderlich, um Reinigungsmittel wirksam zu machen und eine erneute Ablagerung zu verhindern. Unser Infrarot-PID-Ansatz sorgt dafür, dass die Parameter schnell angepasst werden können – dadurch werden die Produktionszeiten verkürzt und der Verlust an Produkten minimiert. Der Energieverbrauch sinkt, da die Wärme nur dann erzeugt wird, wenn sie benötigt wird – nicht ständig. Zudem funktioniert das System Schicht für Schicht mit minimalen Ausfallzeiten.
Die Einrichtung, die unbedingt notwendig ist
Infrarotheizer erfordern eine präzise Ausrichtung sowie einen sauberen optischen Weg, damit sie stabil arbeiten können. Planen Sie einen kurzen Zeitraum für die Einstellung der PID-Parameter anhand Ihrer tatsächlichen Belastung und des thermischen Masses. Stellen Sie außerdem sicher, dass die Schnittstelle Ihres Instruments mit den Anschlüssen und Steuersignalen des Heizers kompatibel ist. Sobald alles richtig eingestellt ist, funktioniert das System – doch dieser Einrichtungsschritt ist unverzichtbar.