Zachování bezpečnosti při zahřívání wafерů v prostředí s těkavými látkami
Buďme upřímní: zahřívání wafерů v oblasti chemického čištění je trochu jako hraní si s ohněm. Když jsou v okolí hořlavé páry, jediná jiskra nebo náhlý nárůst teploty není jen technický problém – je to katastrofa.
Aby se toho vyhnuli, přestali jsme používat lampy s otevřenými elementy. Místo toho jsme přešli na zabalené infračervené systémy. Zde je vysvětlení toho, jak to funguje.
Tajemství spočívá v uzavření
Kvartovou trubičku prostě nenecháváme otevřenou. To je volání po potížích.
Naše lampy jsou zabalené v hermeticky uzavřené, vysoce kvalitní kvartové nebo safírové obálce. Představte si to jako ochrannou vrstvu, která chrání elektrické vlákna před vzduchem. Tím se zabrání kontaktu koroziózních čisticích látek s vnitřní částí lampy. Používáme také hermetické uzávěry na místech spojení elektrod. Proč? Protože pokud do drátů proniknou chemikálie, rychle je zničí.
Řízení tepla (a rizika)
Nemůžete prostě umístit vysokovýkonovou infračervenou lampu hned vedle nádrže s těkavými chemikáliemi. To je recept na výbuch.
Bezpečnou vzdálenost určujeme na základě maximální intenzity záření lampy a bodu vzplanutí použitých chemikálií. Pomocí úpravy ohniskové vzdálenosti a použití reflektorů můžeme zaměřit teplo přesně tam, kam je potřeba – na wafер – zatímco zbytek zařízení zůstane dostatečně chladný, aby nedošlo k zapálení.
Kompromisy
Nic není dokonalé. Přidání této ochranné vrstvy mezi zdroj tepla a wafер znamená menší efektivitu. Všimnete si, že tento typ lampy není tak „silný“ jako lampy bez této vrstvy. Abychom to kompenzovali, možná budeme muset zvýšit výkon lampy nebo nechat wafер pod teplem o několik sekund déle, abychom dosáhli požadované teploty.
Správná instalace
Na tato zařízení používáme posílené konektory, abychom zabránili vzniku výbojů. Ale skutečný klíč je správné uzemnění. Ujistěte se prosím, že vaše uzemnění je bezchybné. Uzemnění v chemickém prostředí je noční můra.
Jeden poslední tip: připevněte externí termoelement na vnější plášť. Je to vaše záchranná síť. Nastavte ho tak, aby v případě, že se plášť příliš ohřeje, systém okamžitě vypnul napájení. Lepší je náhlé vypnutí než požár.