V prostoru výroby neustále bzučí ohřevací trouba, ale hlavním problémem je obvykle topná lampa uvnitř termálního analyzátoru. Rozdíl teploty o 2 °C při ohřevu fotorezisty stačí k tomu, aby se kritické rozměry změnily o několik nanometrů – a právě tehdy se výroba zastaví. Vyvinuli jsme topnou lampu pro termální analyzátor tak, aby tuto nejistotu odstranila.
Co je z technického hlediska důležité
Lampa funguje na základě energie krátkovlnného infračerveného záření, s kvartovým obalem pro rychlý a efektivní přenos tepla. Je navržena pro provozní teploty v rozmezí 300–600 °C a zajišťuje rovnoměrnost teploty na úrovni čipů v rozsahu ±0,1 °C v celé oblasti ohřevu. Energie přichází prostřednictvím standardizovaného spoje pro vysoké teploty, který je vhodný pro běžné analyzátorové komory, aniž by došlo k poškození zařízení.
Naformulovali jsme geometrii vlákna a trasu reflektoru tak, abychom snížili gradienty teploty. Centrum a okraje čipů tak mají stejnou teplotu, což odpovídá specifikacím procesu. Žádné překvapení – jen opakující se výsledky.
Proč to funguje v litografii
V litografii určují kroky měkkého a tvrdého ohřevu profil fotorezisty. Opakovatelnost teploty je to, co umožňuje udržet velikost čipů pod kontrolou a zajistit dobrou produktivitu. Tato lampa je kompatibilní s čistými prostředími třídy 1–100 a v horké oblasti nevytváří žádné částice – což zajišťuje nižší počet vad.
Lampa funguje nonstop v průběhu výroby, s více než 5 000 hodinami stabilního provozu a s poklesem intenzity světla menším než 5 %. Méně výměn lamp, méně času na údržbu a stabilní teplotní profile pro každý čip a každou šarži.
Detaily, na které je potřeba myslet při plánování
Lampa potřebuje speciální zdroj napájení s regulací proudu. Pokud modernizujete staré analyzátory, očekávejte drobné úpravy mechanických parametrů. Nejlepší stabilitu výstupu dosáhnete, pokud je emisivita komory regulována a lampa je pravidelně kalibrována.
Ujistěte se, že se ladění lampy shoduje s vašimi procedurami preventivní údržby.