V provozu určuje tepelný rozpočet vaší oxidizační pece základní hodnoty pro integritu oxidové vrstvy na celém polotovaru. Stačí jen 1 °C odchylka a dobrá série polotovarů se promění v odpad. Náš ohřívací prvek na oxidaci polotovarů je navržen tak, aby tuto nejistotu odstranil.
Co je z technického hlediska důležité
Jádrem tohoto řešení je sada kvartových halogenových lamp, které převádějí krátkovlnnou energii přímo do nádoby s polotovarem. Díky tomu je dosaženo tepelné rovnoměrnosti na úrovni ±0,1 °C v celé procesní oblasti.
Při velikostech struktur pod 10 nm nelze na tomto parametru šetřit. Preciznost procesů fotorezistence a leptání závisí právě na přesnosti tohoto ohřívacího prvku. Tento prvek udržuje stabilitu po celou dobu provozu, 24/7, a přitom nevytváří žádné částice – to bylo ověřeno v prostředí čisté místnosti třídy 1.
Proč to funguje v praxi
Tento prvek přímo pomáhá snižovat tlak spojený s nízkou výtěžností v procesech litografie a leptání. Když jsou teplotní profily konzistentní a opakovatelné, tloušťka fotorezistence zůstává po procesu rovnoměrná, takže nedochází k nerovnostem na hranicích linий během leptání.
Výsledkem je menší množství oprav a vyšší počet polotovarů z jedné masky. Zároveň se zvyšuje energetická efektivita, což snižuje provozní náklady bez snížení rychlosti výroby.
Na co si musíte dát pozor
Tento prvek lze použít v již existujících pecích, ale potřebuje speciální napájecí zdroj a ovládací rozhraní, aby fungoval správně. Krátkovlnný profil je ideální pro rychlý tepelný proces, ale zarovnání s nádobou s polotovarem musí být dokonalé – jinak vzniknou lokální body s vysokou teplotou.
Provádíme testování na místě, abychom zajistili, že tepelný profil odpovídá vaší konkrétní výrobní metodě. Díky tomu je výkon konzistentní v každé sérii výroby.