Почему мы переходим на использование инфракрасного обжига в производстве полупроводниковых пластин
Переход от использования растворителей для сушки к использованию инфракрасного излучения – это не просто модная тенденция. Это довольно простое физическое явление.
Вместо того чтобы нагревать всю комнату ради сушки крошечной пластины, мы используем инфракрасные датчики и излучатели, которые воздействуют на определенные молекулярные структуры в покрытии. Это позволяет энергии достигать цели напрямую. Поскольку энергия распределяется точно там, где это необходимо, нам больше не нужны химические катализаторы и стабилизаторы на основе свинца, которые раньше использовались в традиционных тепловых установках.
Сокращение потерь энергии
Подумайте о традиционной конвекционной печи: она тратит огромное количество энергии на нагрев воздуха вокруг продукта. Это раздражает.
У инфракрасного обжига все иначе. Мы направляем электромагнитное излучение прямо на поверхность пластины. Не нужно ждать часами, пока печь нагреется. Достаточно просто включить устройство, и излучатели начинают работать уже через несколько секунд.
К тому же, благодаря использованию коротковолнового инфракрасного излучения, энергия быстро проникает сквозь слой фоторезиста или клея. Это значит, что циклы обработки становятся короче. Меньше времени под воздействием света означает меньшее потребление электроэнергии на единицу продукции. Это просто логично.
Чистота и отсутствие свинца
Если вы работаете в соответствии с стандартами без свинца, диапазон температур очень узок. Если температура будет слишком высокой, это может повредить подложку или вызвать выделение химических веществ.
Чтобы этого избежать, мы используем датчики, которые контролируют поверхность пластины в реальном времени. Если температура отклоняется, система мгновенно корректирует мощность, чтобы сохранять температуру в пределах ±1°C.
Это действительно удобно. Вам больше не нужны тяжелые металлические стабилизаторы, чтобы предотвратить перегрев печи. Вы получаете чистый процесс обработки, который соответствует мировым экологическим стандартам, без лишних проблем.
Реальность
Инфракрасный обжиг действительно ускоряет процесс, но это не волшебство.
Есть один недостаток: из-за высокой температуры верхний слой может затвердевать гораздо быстрее, чем нижний. Если вы не будете аккуратно расставлять датчики и излучатели, процесс обработки будет неравномерным.
А если процесс не настроен правильно, на пластине могут появиться трещины. Нужно немного настроить устройства, но как только это сделано, процесс становится гораздо более эффективным.