웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

휘발성 물질이 있는 곳에서 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 화학적 세척 구역에서 웨이퍼를 가열하는 것은 마치 불과 장난을 치는 것과 같습니다. 휘발성 기체가 공기 중에 떠다니는 상황에서는 작은 스파크나 열 폭주만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있...