工場乾燥設備のエネルギー診断

ファブ内での汚染問題を防ぐために もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでもウェハの歩留まりが大幅に低下してしまいます。本当に厄介です。ほとんどの場合、問題の原因は加熱素子にあります。安定した状態で動作してほしい時に、そこからガスや微細な破片が放出されて...