LCDパネル製造用赤外線ヒーター

LCDパネルの製造ラインにおいて、熱ドリフトは会議で議論する抽象的なリスクではありません。露光後の線幅変動、ベーク後のフォトレジストのフッティング、そして朝の報告書に反映される歩留まり低下として現れます。24時間365日稼働しており、ラインが停止すると、その停止はリソグラフィー、トラック、検査工程...