真空対応の赤外線ヒーター

ウェーハを清潔に保つために：真空式IRヒーターの実態 大量生産を行う半導体工場では、ランプが故障すると大変な問題になります。単に機械が一時的に停止するだけでは済みません。もし真空チャンバー内でクォーツ管が破損すれば、ガラスの破片や有害なガスがあちこちに飛び散ります。1つのランプが故障するだけで、一...