マシンの壁面で熱が無駄に失われるのを止めましょう。
ウェーハベースのバイオセンサーを扱ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度管理を行うのは非常に難しいのです。多くの人々は通常の赤外線ランプを使用しますが、問題は、そのエネルギーの大部分が単に無駄に消えてしまうことです。そのエネルギーはウェーハから放射され、空気やマシンのケースを温めてしまいます。つまり、部品自体を温める代わりに、他の部分が温められてしまうのです。これはエネルギーの無駄遣いです。
この問題を解決するために、私たちはランプの内部に高反射率の金コーティングを施しました。なぜ金かというと、アルミニウムでは赤外線に対して十分な効果が得られないからです。金はそのエネルギーを逆方向に反射させます。そうすることで、熱があちこちに散らばるのではなく、直接ウェーハに伝わります。その結果、システムの電力消費を増やすことなく、より集中的な加熱が可能になります。つまり、分散した光源を一点に集中させるのです。
ただし、注意点もあります。センサーを硬化させたり接着させるために、非常に多くのエネルギーを狭い空間に集中させているため、部品が非常に高温になります。冷却ファンやヒートシンクをしっかりチェックする必要があります。もし筐体がそのような集中したエネルギーに耐えられない場合、周囲の温度が上昇し、プロセスの精度が低下してしまいます。
良いことに、これらは既存のコントローラーに簡単に取り付けられます。スイッチを入れるだけで、違いが分かります。加熱のスピードが大幅に速くなり、熱がウェーハ全体に均等に分布します。もう、基板が変形したり、センサーが壊れる心配はありません。
工場の温度を上げるのはやめましょう。そのエネルギーを本来あるべき場所、つまり部品に使いましょう。