
Pourquoi utilisons-nous l’or pour éviter le gaspillage de chaleur ?
Dans le monde des plaques de semi-conducteurs, gaspiller de l’énergie, c’est en quelque sorte jeter de l’argent par la fenêtre. Mais il s’agit pas seulement des frais d’électricité. Si la chaleur n’atteint pas la plaque exactement là où elle devrait l’atteindre, on obtient des profils thermiques inégaux, et c’est là que commencent les vrais problèmes.
Lorsque nous concevons ces chauffeurs, nous ne cherchons pas simplement à chauffer les objets. Nous essayons plutôt de diriger cette énergie vers l’endroit voulu. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or. Cela garantit que presque chaque watt émis par l’élément chauffant atteigne bien la plaque.
Les avantages de l’or
Vous vous demandez peut-être pourquoi nous ne utilisons pas simplement de l’aluminium. Le problème, c’est que l’aluminium consomme trop d’énergie. L’or, en revanche, est excellent pour refléter la lumière infrarouge. Il renvoie ces rayonnements vers leur cible avec très peu de pertes. Cela permet d’atteindre la température souhaitée sans avoir à augmenter excessivement le niveau d’énergie, ce qui pourrait endommager les filaments. C’est simplement plus efficace.
Éliminer les “points froids”
Il ne s’agit pas seulement du revêtement ; c’est aussi de la forme des éléments chauffants. Nous accordons beaucoup d’attention à leur géométrie afin que la chaleur soit concentrée exactement là où elle est nécessaire. Cela permet d’éliminer ces points froids gênants sur la plaque. Si vous effectuez un dépôt de film mince ou une cuisson, une différence de température de 2 degrés peut détruire toute une série de produits. Les réflecteurs en or permettent d’obtenir une distribution de chaleur plus précise et prévisible.
Les inconvénients (car il y en a toujours)
Ce système est très efficace, mais l’or nécessite beaucoup d’entretien. Il déteste la contamination : si la chambre contient des vapeurs chimiques ou des substances organiques, la couche d’or peut se salir ou s’oxyder. Une fois cela arrivé, sa capacité de réflexion diminue. Il faudra donc avoir une méthode de nettoyage rigoureuse ou utiliser un bouclier en quartz pour maintenir les réflecteurs en bon état.
Un dernier conseil si vous souhaitez choisir un nouveau chauffeur : examinez bien votre système de refroidissement. Comme la radiation est très efficace, la coque du chauffeur reste froide, mais la plaque absorbe la chaleur beaucoup plus rapidement. Il faudra donc ajuster les contrôleurs PID pour obtenir une réponse plus rapide, sinon vous risquez de dépasser la température souhaitée.