আপনার IR কিউরিং প্রক্রিয়া থেকে অজোন দূর করা
যখন আপনি সেমিকন্ডাক্টর তৈরি করেন, তখন আপনি চান না যে কোনো ধরনের শুষ্কীকরণ প্রক্রিয়া আপনার ওয়েফারগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করুক, অথবা আপনার ক্লিনরুমকে বিপজ্জনক করে তুলুক। এজন্যই আমরা অজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করি। এটা সবাইকে ঝামেলা ছাড়াই “গ্রিন” ও লেড-মুক্ত প্রক্রিয়া অনুসরণ করতে সাহায্য করে।
অজোন কেন সমস্যার কারণ?
সমস্যাটা হলো: সাধারণ শর্ট-ওয়েভ IR ল্যাম্পগুলো ১৮৫ন্যানোমিটার থেকে ২৫৪ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যে বিকিরণ নির্গত করে। এই তরঙ্গদৈর্ঘ্যটি বাতাসের অক্সিজেনকে অজোনে রূপান্তরিত করে।
কারখানায় অজোন হলো একটি বড় সমস্যা। এটা আপনার যন্ত্রপাতিগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে, আর যারা মেশিনগুলো চালান তাদের জন্য বাতাসটিকে বিপজ্জনক করে তোলে। কেউই এটা চায় না।
আমরা বিশেষ কোটিং বা ডোপ্যান্ট সহ কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করে এই সমস্যার সমাধান করি। এটাকে VUV (ভ্যাকুয়াম আল্ট্রাভায়োলেট) তরঙ্গস্পেকট্রামের জন্য একটি ফিল্টার হিসেবে ভাবা যেতে পারে। ২০০ন্যানোমিটারের নিচের সব বিকিরণ আটকিয়ে রাখার ফলে, ল্যাম্পটি কিউরিংয়ের জন্য প্রয়োজনীয় তাপ সরবরাহ করে; কিন্তু অজোন তৈরি হওয়ার রাসায়নিক প্রক্রিয়াটি বন্ধ হয়ে যায়। খুবই সহজ।
এর ফলে আপনার জন্য কী লাভ?
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, বাতাস থেকে গ্যাস অপসারণের জন্য আপনার বড় ধরনের এক্সহস্ট সিস্টেমের দরকার নেই। আপনার কিউরিং স্টেশনটি কম জায়গা দখল করে, আর অতিরিক্ত ভেন্টিলেশনের জন্য শক্তি অপচয় হয় না।
এছাড়া, এই ল্যাম্পগুলো শক্তিকে সরাসরি উপাদানটির মধ্যে সরবরাহ করে। আপনাকে উপাদানটির চারপাশের বাতাসকে গরম করার জন্য সময় নষ্ট করতে হয় না; বরং উপাদানটিকেই গরম করা হয়। এজন্যই এই পদ্ধতিটি ইকো-ফ্রেন্ডলি রেজিন ও লেড-মুক্ত সোল্ডার পেস্টের জন্য খুবই কার্যকর।
শুধুমাত্র একটি বিষয় মনে রাখবেন: যেহেতু আমরা VUV তরঙ্গস্পেকট্রামটিকে ফিল্টার করছি, তাই শক্তির বণ্টনটি কিছুটা পরিবর্তিত হয়। আপনাকে আপনার কনভেয়ারের গতি বা সময় সামঞ্জস্য করতে হতে পারে, যাতে লক্ষ্যমাত্রা অর্জন করা যায়। যদি আপনি উচ্চ-ক্ষমতাসম্পন্ন লাইন ব্যবহার করেন, তাহলে আপনার র্যাম্প-আপ রেটগুলো ঠিকমতো যাচাই করুন, যাতে সবকিছু ঠিকঠাক থাকে।
এটাকে কীভাবে সেট আপ করবেন?
আমরা এগুলোকে “ড্রপ-ইন” রিপ্লেসমেন্ট হিসেবে তৈরি করেছি। যদি আপনার কাছে ইতিমধ্যেই IR টানেল থাকে, তাহলে এগুলো সহজেই সেখানে বসানো যাবে। এগুলো সাধারণ ইন্ডাস্ট্রিয়াল ভোল্টেজে চলে; তাই আপনি এগুলোকে আপনার বর্তমান কন্ট্রোলারে সংযুক্ত করেই ব্যবহার করতে পারেন।
একটি টিপ: কোয়ার্টজ টিউবগুলোকে পরিষ্কার রাখুন। যদি কাঁচের উপর ধুলো জমে যায়, তাহলে গরম বিন্দু তৈরি হবে। এটা ল্যাম্পটিকে দ্রুত নষ্ট করে দেয়। এগুলোকে পরিষ্কার রাখলেই এগুলো দীর্ঘসময় ব্যবহার করা যাবে।