ওয়েফারকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে মেশিনটিকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন।
সাধারণ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোর সমস্যা হলো, এগুলো থেকে উৎপন্ন তাপ সর্বত্র ছড়িয়ে যায়। অর্থাৎ, ৩৬০ ডিগ্রি জুড়েই তাপ ছড়ায়।
যখন আপনি সেমিকন্ডাক্টর চেম্বারে কাজ করেন, তখন এটা একটি বড় সমস্যা হয়ে দাঁড়ায়। আপনার শক্তির বেশিরভাগ অংশই ওয়েফারে পৌঁছায় না; বরং সেটা মেশিনের অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলোতে আঘাত করে। ফলে মেশিনের কিছু অংশ অত্যন্ত উত্তপ্ত হয়ে যায়; এর ফলে অপারেটর আহত হতে পারেন, অথবা প্রক্রিয়ার তাপমাত্রা অস্থিতিশীল হয়ে যেতে পারে। এটা খুবই হতাশাজনক; আর সত্যি বলতে, এটা অপচয়ও বটে।
সমাধান
আমরা এর সমাধান হিসেবে কোয়ার্টজ কভারের পিছনের অংশে পাতলা স্তরে সোনা লাগাই। এটাকে ইনফ্রারেড বিকিরণের জন্য একটি “আয়না” হিসেবে ভাবা যেতে পারে।
এভাবে তাপটি মেশিনের অভ্যন্তরে যাওয়ার পরিবর্তে সামনের দিকেই চলে যায়। ফলে ওয়েফারে আরও বেশি শক্তি পৌঁছায়; আর মেশিনের কাঠামোতে খুব কম শক্তি প্রবেশ করে। আপনাকে আর বায়ু ও মেশিনের দেয়ালগুলোকে উত্তপ্ত করার জন্য অর্থ খরচ করতে হবে না।
সুবিধা ও অসুবিধা
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, আপনি উচ্চ শক্তি ব্যবহার করতে পারেন; কিন্তু মেশিনের বাইরের অংশটি ঝুঁকিপূর্ণ হয় না। এর ফলে নিরাপত্তা ব্যবস্থা পরিচালনা করা অনেক সহজ হয়ে যায়।
কিন্তু একটি সতর্কতা দরকার। এই ল্যাম্পগুলো তাপকে কেন্দ্রীভূত করে। যদি ফোকাল পয়েন্টটি সামান্য ভুল হয়, অথবা যদি উপকরণটি এই তাপ সহ্য করতে না পারে, তাহলে ওয়েফারে “হট স্পট” তৈরি হতে পারে। আপনাকে আপনার PID কন্ট্রোলারগুলোও ভালোভাবে পরীক্ষা করা উচিত। কারণ তাপ দ্রুত প্রবেশ করার ফলে র্যাম্প-আপ সময়টিও পরিবর্তিত হয়ে যায়।
ব্যবহারের উপায়
এগুলোর সুবিধা হলো, এগুলো সাধারণ শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড টিউবগুলোর বিকল্প হিসেবে ব্যবহার করা যায়। আপনি এগুলোকে আপনার বিদ্যমান পাওয়ার সাপ্লাইতে সংযুক্ত করুন; তাহলে মেশিনের তাপমাত্রা দ্রুত কমে যাবে। এটা কোলিং জ্যাকেট পুনর্ডিজাইন করার বা অতিরিক্ত ইনসুলেশন ব্যবহার করার প্রয়োজন না রেখেই “হট ওয়াল” সমস্যার সমাধান করার একটি সহজ উপায়।