Đèn sưởi dùng trong nhiễu xạ tia X (XRD)

Trên sàn sản xuất, một tấm wafer 300 mm đặt trên dây chuyền, chờ quá trình soft bake để cố định cấu hình photoresist. Nếu đĩa nóng lệch dù chỉ một...