Trong quá trình xử lý phim quang học, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C trong quá trình làm khô phim cũng đủ để khiến toàn bộ sản phẩm trở thành rác thải. Quá trình làm khô wafer sẽ thất bại ngay khi mà nhiệt độ không được duy trì đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Chúng tôi đã thiết kế các bộ sưởi bán dẫn được điều khiển bằng PID, giúp loại bỏ những biến động nhiệt độ này, đồng thời đảm bảo tính ổn định nhiệt độ ở mức cao.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi kết hợp bộ phát tia hồng ngoại có khả năng phản ứng nhanh với bộ điều khiển PID có độ chính xác cao, nhằm duy trì nhiệt độ của bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Điều này giúp đảm bảo tính nhất quán trong quá trình xử lý phim quang học, đồng thời giúp kiểm soát kích thước của wafer một cách chính xác. Hệ thống này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100. Thiết kế này còn giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi, bằng cách loại bỏ các sợi dây nóng và hạn chế hiện tượng luồng khí gây xáo trộn. Về mặt lưu trữ thông tin, bộ điều khiển có thể lưu trữ nhiều chế độ xử lý khác nhau và ghi lại dữ liệu nhiệt độ – giúp việc kiểm tra dễ dàng hơn, mà không cần phải thực hiện thêm bất kỳ thao tác nào.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quá trình in ấn và làm khô wafer? Trong quá trình in ấn, cần có quá trình làm khô phim quang học ổn định để điều chỉnh độ nhớt của phim quang học và loại bỏ các chất hòa tan mà không làm tổn thương bề mặt wafer. Trong quá trình làm khô wafer, cần có nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ để loại bỏ các chất tẩy rửa và ngăn chặn hiện tượng tái lắng đọng chất trên bề mặt wafer. Phương pháp sử dụng bộ điều khiển PID kết hợp với tia hồng ngoại giúp đạt được tính nhất quán cao trong quá trình xử lý, từ đó giảm thời gian xử lý và giảm lượng rác thải phát sinh. Nhu cầu sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì nhiệt độ được điều chỉnh theo nhu cầu thực tế, chứ không phải hoạt động liên tục. Hệ thống này có thể hoạt động liên tục suốt nhiều ca làm việc mà không gặp phải sự cố nào.
Bước thiết lập không thể bỏ qua Các bộ sưởi hồng ngoại đòi hỏi phải được lắp đặt một cách chính xác, đồng thời cần có con đường truyền ánh sáng sạch để đảm bảo tính ổn định. Hãy dành thời gian để điều chỉnh các thông số PID cho phù hợp với điều kiện thực tế và khối lượng nhiệt cần xử lý. Đồng thời, cần đảm bảo rằng giao diện kết nối của thiết bị phù hợp với công tắc và tín hiệu điều khiển của bộ sưởi. Một khi đã được lắp đặt đúng cách, hệ thống sẽ hoạt động hiệu quả – nhưng bước thiết lập này là điều không thể bỏ qua.