MEMS ویفرز کو صحیح طریقے سے خشک کرنا
جب آپ MEMS سینسرز تیار کرتے ہیں، تو نمی کو دور کرنا ایک بہت ہی پیچیدہ کام ہے۔ ویفر کو خشک رکھنا ضروری ہے، لیکن آپ اسے صرف حرارت سے خشک نہیں کر سکتے؛ کیوں کہ ایسا کرنے سے سبسٹریٹ ٹیڑھا ہو جاتا ہے، یا باقی رہنے والے مادے سے مشکلات پیدا ہو جاتی ہیں۔
یہیں پر ہمارے انفراریڈ ہیٹرز کام آتے ہیں۔ ہم اعلیٰ شدت والے کوارٹز لیمپ استعمال کرتے ہیں، جو چند سیکنڈوں میں ہی سطح کو خشک کر دیتے ہیں۔ یہ عمل بہت تیز ہے۔
طاقت اور حرارت کا توازن
دراصل، آپ صرف طاقت کو بڑھا کر امید نہیں کر سکتے۔ ایسا کرنے سے ویفروں پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں، جس سے ویفر خراب ہو جاتے ہیں۔
ہم بہت وقت صرف کرتے ہیں کہ کمرے کے سائز کے حساب سے مناسب واٹج اور وولٹیج کا تعین کیا جائے۔ یقیناً، زیادہ واٹج سے کام کی رفتار بڑھ جاتی ہے، لیکن اس سے پاور سپلائی پر بہت زیادہ بوجھ پڑتا ہے۔ آپ کو لیمپ کے فاصلے اور ڈیوٹی سائیکل کو درست رکھنا ہوتا ہے، تاکہ سطح کا درجہ حرارت مناسب رہے۔
استعمال کیے جانے والے آلات
ہم لیمپوں کے لئے اعلیٰ خالصیت والا کوارٹز استعمال کرتے ہیں۔ کیوں؟ کیوں کہ آپ یقیناً نہیں چاہیں گے کہ گیسیں آپ کے کلین روم کو آلودہ کریں۔
ہم شارٹ-ۋیو کوٹنگز بھی استعمال کرتے ہیں۔ شارٹ-ۋیو انفراریڈ ریڈییشن، لانگ-ۋیو ریڈییشن کے مقابلے میں نمی کو زیادہ بہتر طریقے سے دور کرتا ہے۔ اور چونکہ یہ لیمپ مسلسل چلتے رہتے ہیں، اس لئے ہم ان میں مضبوط کنیکٹرز استعمال کرتے ہیں، تاکہ وہ چند ہفتوں بعد خراب نہ ہو جائیں۔
حقیقی دنیا کی صورتحال
اعتراف کرنا پڑے گا کہ ان ہیٹرز کو MEMS پروسیسنگ لائن میں استعمال کرنا اتنا آسان نہیں ہے۔
حرارت کی شدت بہت زیادہ ہے۔ اگر آپ کے پاس مضبوط کولنگ سسٹم نہ ہو، تو یہ حرارت آپ کے آلات کے چیسس میں جم جائے گی۔ اور جب آپ کے آلات گرمی کی وجہ سے خراب ہونے لگیں، تو آپ کو بہت بڑی مشکلات کا سامنا کرنا پڑے گا۔
کچھ مشورے: لیمپوں کے لئے “ڈراپ-ان ریپلیسمنٹ” حکمت عملی استعمال کریں۔ اس سے دیکھ بھال کا کام آسان ہو جاتا ہے، اور بندش کا وقت کم ہو جاتا ہے۔ اس کے علاوہ، پورے بیچ کو شروع کرنے سے پہلے ہمیشہ پائرومیٹر کا استعمال کرکے سطح کا درجہ حرارت چیک کریں۔ یہ ایک چھوٹا سا قدم ہے، لیکن اس سے بہت سا ویسٹ ہونے سے بچا جا سکتا ہے۔