اپنے ویفر ٹولز کے درجہ حرارت میں اضافے کو روکیں۔
کیا آپ نے کبھی دیکھا ہے کہ معمولی انفراریڈ حرارت سے تمام چیزیں گرم ہو جاتی ہیں؟ یہ تو ایسے ہی ہے جیسے کوئی شخص فلیم تھروور کی مدد سے موم بتی جلانے کی کوشش کر رہا ہو۔ ہم چاہتے ہیں کہ ویفر گرم ہو، لیکن اس کے بجائے پورا ویکیوم چیمبر اس حرارت کو جذب کر لیتا ہے۔
یہ “غیرضروری حرارت” ایک بہت بڑا مسئلہ ہے؛ یہ آپ کے مہنگے ٹولز کو گرم ہونے پر مجبور کرتی ہے، جس کی وجہ سے حرارتی عدم توازن پیدا ہوتا ہے، اور سب سے بدتر بات یہ ہے کہ فیکٹری میں کام کرنے والے افراد کو زخم لگنے کا خطرہ بھی رہتا ہے۔
ہم نے ایک بہتر طریقہ تلاش کیا: ڈائرکشنل ہیٹنگ۔
یہ کس طرح کام کرتا ہے؟
ہم ہر سمت میں حرارت پھیلانے کے بجائے، شارٹ-ویو انفراریڈ لیمپوں اور درستگی سے کام کرنے والے ریفلیکٹروں کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ تو ایسے ہی ہے جیسے بلب کی جگہ لیزر کا استعمال کیا جائے۔ ہم حرارت کو براہ راست ویفر کی سطح پر منتقل کرتے ہیں۔
نتیجہ؟ چیمبر کی دیواریں ٹھنڈی رہتی ہیں۔ آپ کو RTP کے لئے مطلوبہ تیز رفتار حاصل ہوتی ہے، لیکن ٹولز کے خول گرم نہیں ہوتے۔
تفصیلات اور متبادلات
ہم اعلی واٹیج کے کوارٹز ٹیوبوں کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ یہ اعلی توانائی کثافت کے لئے ڈیزائن کئے گئے ہیں، لہذا ویفر چند سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے۔
لیکن ایک مسئلہ یہ ہے کہ آپ کو اپنے کولنگ سسٹم پر نظر رکھنی پڑتی ہے۔ چونکہ حرارت بہت زیادہ ہوتی ہے، اس لئے فوکل پوائنٹ پر حرارت کی شدت بہت زیادہ ہوتی ہے۔ اگر آپ کا کولنگ سسٹم اس حرارت کو سنبھال نہ سکے، تو ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ یہ ایک متبادل ہے، لیکن اگر آپ کے پاس درست سپیکسیفیکیشنز ہوں، تو اسے آسانی سے سنبھالا جا سکتا ہے۔
فیکٹری کو محفوظ بنانا
جب دیواریں غیرضروری حرارت کو جذب نہیں کرتیں، تو مشین کا باہری حصہ ٹھنڈا رہتا ہے۔ یہ ٹولز لوڈ کرنے والے افراد اور مرمت کرنے والوں کے لئے بہت فائدہ مند ہے۔ اب انہیں گرم سطحوں سے بچنے کی ضرورت نہیں ہے۔
اس کے علاوہ، آپ کے سیلز اور گیسکٹس بھی زیادہ عرصے تک کام کر سکتے ہیں۔ عام طور پر، یہ پرزے بہت جلد خراب ہو جاتے ہیں، کیوں کہ وہ مسلسل بالواسطہ حرارت سے متاثر ہوتے ہیں۔ اب وہ اپنا کام بآسانی انجام دے سکتے ہیں۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ یہ پرزے بدلنے میں بہت آسان ہیں۔ آپ انہیں اپنے موجودہ کنٹرولرز میں جوڑ دیں، اور فوراً ہی آپ کا تھرمل فوٹپرنٹ کم ہو جائے گا۔ بہت آسان۔