Як правильно сушити пластини для MEMS-датчиків
Під час виробництва MEMS-датчиків необхідно позбутися вологи. Але це складне завдання – потрібно, щоб пластина була сухою, але водночас не можна застосовувати велику кількість тепла, інакше основа пластини може деформуватися чи залишитися слід від вологи.
Саме тут на допомогу приходять наші інфрачервоні нагрівачі. Ми використовуємо лампи з високою інтенсивністю світіння, які дозволяють швидко висушити поверхню протягом кількох секунд. Це дуже швидко.
Баланс між потужністю та теплом
Проблема полягає у тому, що не можна просто збільшити потужність нагрівача та сподіватися на краще. Якщо так зробити, то на поверхні пластини з’являться точки з високою температурою, що може пошкодити пластину.
Ми довго працюємо над тим, щоб знайти оптимальну комбінацію потужності та напруги, враховуючи розміри камери. Звісно, вища потужність підвищує швидкість обробки, але це створює велике навантаження на систему живлення. Потрібно правильно налаштувати відстань між лампами та їх час роботи, щоб температура на поверхні залишалась на потрібному рівні.
Компоненти, які використовуються
Для виготовлення корпусів ламп ми використовуємо кварц високої чистоти. Чому? Тому що останнє, що потрібно, – це виділення шкідливих газів у чистій кімнаті.
Крім того, ми використовуємо покриття з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Короткохвильове випромінювання ефективніше проникає через шар вологи, ніж довгохвильове. Оскільки ці лампи постійно вмикаються та вимикаються, ми встановлюємо на них міцні контактори, щоб вони не перегоріли через кілька тижнів.
Реальні умови використання
Чесно кажучи, встановлення цих нагрівачів у лінію виробництва MEMS-датчиків не є таким простим процесом. Інтенсивність тепла дуже висока. Якщо у вас немає ефективної системи охолодження, це тепло потрапить у корпус обладнання. А коли електроніка навколо почне деформуватися чи зламуватися через перегрівання, у вас виникне справжня проблема.
Кілька порад з практики:
Використовуйте лампи, які можна легко замінити. Це значно полегшує процес технічного обслуговування та скорочує час простою обладнання. Також завжди використовуйте калібрований пірометр для перевірки температури поверхні перед початком виробництва. Це допоможе уникнути змарнування матеріалів.