На площадці виробництва навіть зміна температури на 0,5°C під час процедури м’якого висушування фоторезисту може призвести до того, що весь продукт стане непридатним для використання. Процес висушування пластини закінчується тоді, коли температурний профіль не може бути стабільним на всій поверхні пластини. Ми створили нагрівачі на основі принципу PID для усунення цих непостійностей; керування відбувається через інфрачервоний контроль з закритим циклом, що забезпечує стабільність температури на рівні пластини.
Що є важливим у цій системі
Ми поєднуємо інфрачервоний випромінювач з високоточним контролером PID, який дозволяє підтримувати температуру плати на рівні ±0,1°C. Це забезпечує однакові умови під час процедур м’якого та жорсткого висушування, а також однорідність температури по всій поверхні пластини, що дозволяє контролювати критичні параметри. Система підходить для приміщень класу 1–100, а її конструкція забезпечує мінімальне утворення частинок завдяки відсутності відкритих гарячих елементів та обмеженню конвективних процесів. Для зберігання параметрів процесу контролер зберігає кілька профілів та записує дані про температуру – це полегшує контроль та уникнення проблем.
Чому це важливо для літографії та висушування
У літографії необхідна стабільна температура під час процедури м’якого висушування для контролю в’язкості фоторезисту та видалення розчинників без пошкодження поверхні пластини. Під час висушування пластини потрібна контрольована температура для ефективного видалення очищувачів та запобігання їх повторному осадженню. Наш підхід з використанням інфрачервоного контролера PID забезпечує таку стабільність та швидку зміну параметрів, що скорочує час виконання процедур та кількість відходів. Використання енергії також зменшується, оскільки нагрівання відбувається лише тоді, коли це необхідно. Система може працювати без перерв протягом багатьох змін.
Необхідні умови для правильної роботи
Інфрачервоні нагрівачі вимагають точного вирівнювання та чистого оптичного шляху для забезпечення стабільної роботи. Необхідно виділити час на налаштування параметрів PID відповідно до реальних умов та характеристик нагрівача. Також важливо, щоб інтерфейс пристрою відповідав кабелям та сигналам керування нагрівачем. Після правильного налаштування система буде працювати ефективно – цей крок є обов’язковим.