บนชั้นลิโธกราฟี ขั้นตอน soft bake และ hard bake กำหนดงบประมาณความร้อนสำหรับเวเฟอร์แต่ละชิ้น หลอดไฟที่เกิดการเปลี่ยนแปลงแม้เพียงเล็กน้อย จะทำให้โปรไฟล์โฟโต้เรซิสต์กลายเป็นการคาดเดา—มิติที่สำคัญ, มุมด้านข้างผนัง และจำนวนตำหนิทั้งหมดจะเปลี่ยนแปลงไปด้วย การเปลี่ยนหลอดไฟสำหรับ Nikon stepper ถูกออกแบบมาเพื่อลดการเปลี่ยนแปลงดังกล่าวตั้งแต่ต้น
ประเด็นทางเทคนิคที่สำคัญ
เราเลือกใช้แหล่งกำเนิดแสงฮาโลเจนที่มีรูปทรงเส้นไส้หลอดและปลอกควอตซ์แม่นยำ ทำให้กำลังแสงส่องสว่างคงที่และทำซ้ำได้ ซึ่งจะทำให้ความร้อนบนเวเฟอร์มีความสม่ำเสมออยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดแผ่นอบ ช่วยรักษาการไหลของโฟโต้เรซิสต์และการระเหยของตัวทำละลายให้อยู่ในข้อกำหนด ชุดหลอดไฟสามารถใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1 ได้โดยไม่ก่อให้เกิดฝุ่นระหว่างการอุ่นเครื่องและสถานะคงที่ ความเสถียรของกำลังไฟฟ้าคงที่ภายใน 0.5% ตลอดอายุการใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง ทำให้การซ้อนทับและการให้ปริมาณแสงคงที่ในแต่ละล็อต
นี่คือเหตุผลว่าทำไมจึงใช้งานได้จริง: Nikon stepper ต้องการกำลังไฟหลอดที่เสถียรเพื่อรักษาความแม่นยำในการซ้อนทับและคงความต่อเนื่องในการผลิต การเปลี่ยนหลอดนี้ตรงตามเส้นทางแสงและโปรไฟล์ความร้อนของ OEM จึงไม่ทำให้หน้าต่างกระบวนการใน soft bake, hard bake หรือ post-exposure bake หายไป ผู้ใช้งานจึงควบคุมมิติสำคัญของโฟโต้เรซิสต์ได้ ลดการเกิดคราบเหลือและเศษตกค้าง และลดเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดจากการเปลี่ยนแปลงหลอดไฟหรือการเสียก่อนกำหนด การใช้พลังงานได้รับการปรับให้เหมาะสม และระยะเวลาบำรุงรักษาที่ยาวขึ้นลดความถี่ในการบำรุงรักษาเชิงป้องกันโดยไม่สูญเสียความเสถียรของความร้อน
ข้อควรระวังบางประการ
การติดตั้งหมายถึงต้องจับคู่ขั้วต่อฐานให้ตรงกัน วางตำแหน่งของอาร์คให้ถูกต้อง และตรวจสอบการไหลและการกรองของน้ำหล่อเย็น ความสม่ำเสมอระหว่างรันขึ้นอยู่กับสภาพของรีเฟลกเตอร์และการสอบเทียบเซ็นเซอร์อุณหภูมิบนจานร้อน—ซึ่งต้องปฏิบัติอย่างเป็นระบบเดียวกัน
ควรวางแผนการอบทดสอบระยะสั้นกับเวเฟอร์ล็อตแรกหลังการเปลี่ยนหลอด เพื่อกำหนดลักษณะความร้อนใหม่และยืนยันการตั้งค่าปริมาณแสงและโฟกัสว่าอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องแล้ว