Как правильно сушить пластины для производства MEMS-датчиков
При производстве MEMS-датчиков необходимо избавиться от влаги. Но при этом нужно учитывать, что пластина должна оставаться сухой. Однако нельзя просто использовать высокую температуру для сушки – это может привести к деформации подложки или остатку загрязнений на её поверхности.
Вот здесь и пригождаются наши инфракрасные обогреватели. Мы используем лампы из кварца с высокой интенсивностью излучения, которые позволяют мгновенно высушить поверхность за несколько секунд. Это очень быстро.
Баланс между мощностью и температурой
Нельзя просто увеличивать мощность обогревателя в надежде на хороший результат. В противном случае на поверхности пластины возникнут горячие точки, что может повредить саму пластину.
Мы тратим много времени на подбор оптимального сочетания мощности и напряжения в зависимости от размеров помещения. Конечно, более высокая мощность способствует увеличению скорости обработки, но это создает большую нагрузку на систему питания. Необходимо также учитывать расстояние между лампами и частоту их включения/выключения, чтобы температура поверхности оставалась на нужном уровне.
Компоненты обогревателей
Для изготовления корпусов ламп мы используем кварц высокой чистоты. Почему? Потому что нельзя допустить выделения вредных веществ в чистой комнате.
Кроме того, мы используем покрытия с коротковолновым излучением. Коротковолновое инфракрасное излучение эффективнее проникает через слой влаги, чем длинноволновое излучение. Поскольку лампы постоянно включаются и выключаются, мы используем прочные разъемы, чтобы они не выходили из строя уже через несколько недель.
Практические аспекты
Честно говоря, установка таких обогревателей в производственную линию для MEMS-датчиков – это не так уж и просто. Интенсивность тепла очень высока. Если у вас нет эффективной системы охлаждения, это тепло будет негативно влиять на оборудование. А когда окружающая электроника начинает выходить из строя из-за перегрева, возникают серьезные проблемы.
Несколько советов из практики:
Используйте лампы, которые можно легко заменить. Это значительно упрощает обслуживание и сокращает время простоя оборудования. Также всегда используйте калиброванный пирометр для контроля температуры поверхности перед началом производства. Это небольшой шаг, который помогает избежать потери большого количества кремния.