Спасите свои инструменты от чрезмерного нагрева
Вы когда-нибудь замечали, что обычное инфракрасное нагревание приводит к тому, что вся энергия распределяется по всему пространству? Это похоже на попытку зажечь свечу с помощью огнемета. Вы хотите, чтобы пластина нагрелась, но вместо этого вся вакуумная камера поглощает всю эту энергию.
Этот «лишний жар» представляет серьезную проблему. Он превращает дорогую конструкцию инструмента в гигантский рассеиватель тепла, что приводит к тепловым дефектам. А ещё существует риск того, что кто-то может получить ожоги на производственной площадке.
Мы нашли лучший способ — направленное нагревание.
Как это работает
Вместо того чтобы излучать тепло во все стороны, мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением и точные отражатели. Это похоже на переход от использования обычной лампочки к лазеру: энергия направляется прямо на поверхность пластины.
Результат? Стены камеры остаются прохладными. Вы сохраняете высокую скорость нагрева, необходимую для процедуры RTP, при этом корпус инструмента не нагревается.
Нюансы и компромиссы
Мы используем кварцевые лампы с высокой мощностью, потому что они обеспечивают эффективное нагревание. Однако необходимо следить за системой охлаждения. Поскольку лучи концентрированы, тепловой поток в фокусе очень велик. Если система охлаждения не справляется с такой нагрузкой, на пластине могут появиться места с повышенной температурой. Это компромисс, но его можно контролировать, если параметры выбраны правильно.
Безопасность на производственной площадке
Когда стены больше не поглощают лишний жар, поверхность оборудования остается прохладной на ощупь. Это огромный плюс для людей, которые загружают инструменты или выполняют техническое обслуживание. Не нужно больше избегать горячих поверхностей.
Кроме того, уплотнители и герметики будут служить дольше. Обычно эти детали быстро выходят из строя из-за постоянного воздействия косвенного тепла. Теперь они могут выполнять свою функцию как положено.
Самое лучшее? Эти элементы можно заменить без сложностей. Достаточно подключить их к существующим контроллерам — и тепловой разгон будет значительно эффективнее. Просто.