Сокращение выбросов углерода в чистых комнатах: почему мы переходим на инфракрасное нагревание
Поддержание правильной температуры внутри полумикросхемной камеры представляет собой сложную задачу. Обычно для этого используются традиционные резистивные нагреватели или конвективные печи. Они действительно работают, но при этом сопровождаются огромными потерями энергии.
Мы начали использовать нагревательные элементы на основе кратковолнового инфракрасного излучения. Это простая замена, но она значительно сокращает количество энергии, которое тратится на нагрев чистой комнаты.
Прекратите нагрев воздуха
Конвективное нагревание является неэффективным способом. Оно пытается нагреть каждую молекулу азота или аргона внутри камеры, чтобы нагреть сам объект обработки. Это приводит к огромной потере энергии.
Инфракрасное нагревание работает иначе: оно использует излучение для непосредственного нагрева целевой поверхности. Не нужно бороться с атмосферой внутри камеры – энергия направляется прямо туда, где это необходимо. Когда мощность и напряжение подбираются соответствующим образом, время нагрева значительно сокращается. Это очень быстро. А это значит, что потребляется меньше киловатт-часов на единицу продукции.
Детали работы устройства
Эти нагревательные элементы изготавливаются из высокочистых кварцевых трубок. Чтобы сделать их ещё более эффективными, мы добавляем специальные покрытия. Это позволяет сосредоточить энергию на самой поверхности, чтобы она не отражалась от стенок камеры.
Поскольку мы используем стандартные промышленные разъемы, их можно просто подключить к существующей системе.
Однако есть один нюанс: эти лампы имеют очень высокую мощность в ограниченном пространстве. Из-за этого необходимо тщательно проверять качество проводки. Если диаметр кабеля слишком мал, возникают падения напряжения. Это приводит к неравномерному нагреву, что является последним, чего хочется.
Настоящая польза для производства
Лучшее то, что происходит при использовании таких нагревателей, — это сокращение выбросов углерода. Речь не идет о каких-то „зеленых“ терминах или дорогих компонентах. Речь идет просто о сокращении потерь энергии во всей системе.