Na prática, as bolachas de SiC não se dão bem com as placas de aquecimento convencionais. Para processos de secagem suave, secagem intensa e cura pós-aplicação, é necessário um calor que chegue rapidamente e de forma uniforme, sem exceder o limite térmico da bolacha. Quando a uniformidade da temperatura falha, surgem problemas como bordas irregulares e desvios no perfil da superfície da bolacha. Esses problemas só são detectados após horas de medição.
O que é importante do ponto de vista técnico Utilizamos lâmpadas de aquecimento para processar bolachas de SiC, que utilizam infravermelho de onda curta para aplicar o calor exatamente onde é necessário – na superfície da bolacha – sem aquecer os suportes ou as paredes da câmara. A resposta da lâmpada é em subsegundos, e a uniformidade da temperatura na superfície da bolacha fica dentro de ±0,1°C em toda a área ativa. Isso garante um controle preciso das dimensões críticas, permitindo resultados repetíveis após a litografia.
A lâmpada pode ser instalada em salas limpas de classe 1–100. Ela não gera partículas algum e seu sistema ótico selado impede a contaminação. A saída de energia permanece estável por mais de 5.000 horas, com uma queda inferior a 5%. Assim, é possível operar 24/7, sem interrupções indesejadas.
Por que isso funciona para SiC O processamento de SiC exige precisão extrema: alta condutividade térmica, filmes finos e limites rígidos que não permitem erros. O aquecimento por infravermelho acelera o processo de secagem e cura, pois a transferência de energia é direta, sem necessidade de condução. Isso reduz o tempo entre a aplicação do revestimento e a exposição à luz, evitando também o consumo excessivo de energia para aquecer as placas de aquecimento.
No caso da secagem suave, a lâmpada elimina rapidamente o solvente, mantendo a temperatura da superfície sob controle. Já na secagem intensa e cura, ela cruza as ligações químicas sem superaquecer as camadas abaixo. Isso resulta em maior velocidade de processamento, margens de erro menores e menos lotes rejeitados.
O que você precisa saber antes de começar A instalação depende de ajustes corretos no ângulo de focalização e no perfil do feixe de luz, de acordo com a geometria da sua bolacha. A lâmpada é ajustada para bolachas de SiC de 150 mm e 200 mm. Se você estiver utilizando bolachas de 300 mm, será necessário ajustar os componentes ópticos e o controle de zona para se adaptar à área maior.
Espere um período curto de teste para ajustar a densidade de energia e o tempo de permanência da luz sobre a superfície da bolacha. Uma vez configurado, o processo se torna repetível. Mas sim, a configuração inicial faz parte do trabalho a ser realizado.