Nos processos de fabricação de baterias de estado sólido, é necessário um controle térmico extremamente preciso, tanto quanto as tolerâncias dos wafer utilizados na sua produção. Qualquer erro no controle térmico, por menor que seja, pode afetar negativamente a qualidade do produto final. Construímos este aquecedor especial para manter todas as etapas do processo dentro dos limites térmicos estabelecidos.
O que é importante, do ponto de vista técnico Utilizamos emissores de infravermelho de onda curta, com resposta rápida, para transmitir calor diretamente ao substrato. Na área ativa do wafer, a uniformidade térmica fica entre ±0,1°C, enquanto a repetibilidade entre diferentes ciclos de processamento fica abaixo de ±0,5°C. O sistema funciona em salas limpas de classe 1–100, sem a geração de partículas indesejadas. Os perfis do fotoreagente permanecem consistentes durante todo o processo, e os tempos de cura são controlados com precisão milimétrica – sem variações devido a rampas de aquecimento longas.
Por que isso é útil na fabricação de baterias de estado sólido Neste processo, a secagem do wafer, o pré-aquecimento do fotoreagente e a cura das camadas de interface acontecem sequencialmente. O uso do infravermelho reduz o tempo de processamento, eliminando os atrasos causados pelo aquecimento lento. O controle em circuito fechado mantém as dimensões críticas dentro dos limites estabelecidos. Isso resulta em maior precisão nas dimensões dos produtos, menos trabalhos de retrabalho e menor consumo de energia, já que a energia é direcionada ao filme e ao substrato, e não à câmara de processamento. Assim, os tempos de processamento se tornam mais previsíveis.
O que você precisa saber antes de começar A integração do sistema é simples, mas é necessário definir com precisão a distância entre o emissor e o substrato – a uniformidade térmica depende disso. Esperar-se-á um período curto de ajustes para definir os parâmetros adequados para o seu processo específico. Os emissores têm uma vida útil de mais de 5.000 horas, com mínima variação na emissão de calor. Realizamos calibrações preventivas a cada 2.000 horas, para manter a repetibilidade da temperatura dentro dos limites estabelecidos.