Mengurangkan pelepasan karbon di bilik bersih: Mengapa kita beralih kepada pemanas inframerah
Menjaga suhu yang sesuai di dalam bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor merupakan cabaran yang besar. Biasanya, orang menggunakan pemanas jenis resistif atau ketuhar konvektif. Walaupun cara ini berkesan, ia sangat membuang tenaga.
Kami kini menggunakan elemen pemanas inframerah jarak pendek sebagai gantinya. Ia merupakan penyelesaian yang mudah, tetapi ia memberikan perbezaan yang besar dari segi penggunaan tenaga.
Hentikan pemanasan udara
Pemanasan konvektif sebenarnya membuang banyak tenaga. Ia cuba memanaskan setiap molekul nitrogen atau argon di dalam bilik tersebut agar objek yang sedang diproses menjadi panas. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Inframerah pula berbeza. Ia menggunakan radiasi untuk memanaskan objek secara langsung. Anda tidak perlu berhadapan dengan masalah persekitaran sekeliling; tenaga dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan. Dengan menyesuaikan kuasa dan voltan mengikut berat wafer, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer akan berkurangan. Prosesnya sangat cepat. Dan itu bermakna penggunaan tenaga juga akan berkurangan.
Butiran teknikal
Elemen pemanas ini dibuat daripada tiub kuarsa berkualiti tinggi. Untuk meningkatkan kecekapan, lapisan khas ditambah pada elemen tersebut. Ini memastikan tenaga disalurkan secara efektif ke permukaan wafer, tanpa terpantul pada dinding bilik bersih.
Oleh kerana kami menggunakan sambungan industri yang biasa, elemen pemanas ini boleh digunakan dalam sistem sedia ada. Namun, perlu diingat bahawa lampu ini menghasilkan tenaga yang sangat tinggi. Oleh itu, kabel yang digunakan haruslah berkualiti tinggi. Jika kabel terlalu tipis, voltan akan menurun. Ini akan menyebabkan pemanasan yang tidak sekata, yang tentunya bukan sesuatu yang diinginkan.
Kelebihan sebenar
Yang terbaik bukanlah elemen pemanas itu sendiri, tetapi kesan positifnya terhadap seluruh bilik bersih. Kerana udara di dalam bilik bersih tidak dipanaskan, sistem penyejukan dapat berfungsi dengan lebih efektif. Sistem penyejuk tidak perlu berusaha keras untuk menstabilkan suhu bilik. Inilah cara untuk mengurangkan pelepasan karbon. Ia bukan tentang istilah “alam sekitar” atau komponen canggih tertentu. Ia hanyalah cara untuk menghentikan kebocoran tenaga dalam keseluruhan sistem.