Mengekalkan kebersihan wafer: Realiti pemanas vakum IR
Dalam kilang pengeluaran semikonduktor yang beroperasi pada skala besar, kerosakan pada lampu merupakan masalah yang serius. Ia bukan sekadar menyebabkan mesin berhenti sebentar sahaja. Jika tiub kuarza pecah di dalam bilik vakum, serpihan kaca dan gas berbahaya akan terpercik ke mana-mana. Satu kerosakan pada lampu sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan kumpulan wafer yang diproses.
Itulah sebabnya kami tidak hanya membina pemanas biasa; kami membina pemanas yang mampu bertahan walaupun menghadapi kerosakan.
Menangani masalah haba
Haba berkelakuan secara berbeza dalam keadaan vakum. Oleh kerana tiada udara untuk mengalirkan haba, lampu perlu melakukan tugas tersebut melalui radiasi. Ini memberi tekanan yang tinggi pada tiub kuarza.
Untuk mengelakkan tiub kuarza daripada retak semasa proses pemanasan dan penyejukan yang cepat, kami menggunakan kuarza sintetik berkualiti tinggi. Kuarza jenis ini tidak mengembang atau mengecut sebanyak kuarza murah, jadi ia mampu menahan tekanan tanpa pecah.
Langkah keselamatan
Kami menganggap bahawa sesuatu mungkin akan berlaku secara tidak terduga. Oleh itu, kami menambah lapisan pelindung tambahan. Kebanyakan pemanas kami dilengkapi dengan lapisan pelindung atau lapisan khas. Ia berfungsi sebagai “kurungan keselamatan”. Jika tiub utama rosak, lapisan pelindung ini akan menghalang serpihan kaca daripada merebak ke kawasan pemprosesan. Kami juga menggunakan bahan seramik dan logam berkualiti tinggi untuk penutupan, kerana kita tidak mahu serpihan kecil masuk ke dalam wafer.
Cabaran tenaga
Cabarannya adalah semua orang ingin mendapatkan waktu pemanasan yang lebih cepat. Untuk mencapai hal ini, diperlukan kuasa yang tinggi. Namun, jika terlalu banyak kuasa digunakan pada tiub yang pendek, tekanan gas halogen di dalamnya akan meningkat. Ini memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu memastikan pam vakum dapat menangani situasi ini jika berlaku kerosakan.
Selain itu, janganlah memaksa lampu bekerja melebihi kapasitinya hanya untuk menjimatkan beberapa saat sahaja. Memaksa lampu bekerja melebihi kapasitinya akan menyebabkan lampu rosak lebih cepat.
Kami membina pemanas ini agar dapat bertahan dalam operasi 24/7. Dengan memberi perhatian kepada kualiti kuarza dan penutupan yang sempurna, kami memastikan hanya haba sahaja yang sampai ke wafer.