Di bilik pengeluaran, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan. Proses pengeringan wafer juga akan gagal apabila profil haba tidak dapat dikekalkan secara seragam di seluruh permukaan wafer. Kami menggunakan pemanas semikonduktor yang dikawal oleh sistem PID untuk mengatasi masalah ini. Sistem kawalan inframerah ini memastikan kestabilan haba pada tahap yang tepat.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami menggabungkan pengeluarkan cahaya inframerah yang responsif dengan pemantau suhu berresolusi tinggi, agar suhu plat dapat dikawal pada tahap ±0.1°C. Ini memastikan proses pemanasan berjalan secara konsisten, serta memastikan keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer. Sistem ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Reka bentuknya juga mengurangkan penghasilan zarah debu, kerana tiada filamen panas yang terdedah dan turbulensi konvektif diminimumkan. Untuk tujuan penyimpanan data, sistem ini menyimpan pelbagai tetapan proses serta merekod jejak suhu – mudah untuk audit, tanpa memerlukan usaha tambahan.
Mengapa ini penting dalam proses litografi dan pengeringan
Dalam proses litografi, proses pemanasan yang konsisten diperlukan untuk menentukan kelikatan fotoresist dan membuang bahan pelarut tanpa merosakkan permukaan wafer. Dalam proses pengeringan wafer pula, haba yang dikawal diperlukan untuk menghilangkan bahan pembersih dan mencegah pengendapan semula bahan tersebut. Pendekatan PID menggunakan inframerah ini memastikan proses berjalan secara konsisten, sehingga masa proses berkurangan dan jumlah bahan buangan juga berkurangan. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana haba hanya dihasilkan bila diperlukan sahaja. Sistem ini boleh beroperasi tanpa henti, dengan waktu henti yang minimum.
Langkah persiapan yang wajib dilakukan
Pemanas inframerah memerlukan penalaan yang tepat dan laluan cahaya yang bersih agar ia dapat berfungsi dengan stabil. Lakukan penalaan parameter PID mengikut beban dan massa haba sebenar, dan pastikan antaramuka alat sesuai dengan sambungan dan isyarat kawalan pemanas tersebut. Setelah diselaraskan, sistem ini akan berfungsi dengan baik – namun langkah persiapan ini sangat penting.