מנורת חימום לקרינת רנטגן (XRD)

על רצפת המפעל, וופרת 300 mm מונחת על הקו, ממתינה לאפיית רכה שמייצבת את פרופיל הפוטורזיסט. אם הפלטה החמה מתנדנדת אפילו במעט, בקרת רוחב הקו מתערערת וכל...