Sur le lieu de production, le budget thermique du four d’oxydation détermine les paramètres de qualité de l’oxyde de silicium sur toute la surface de la puce. Une déviation de 1°C suffit pour transformer une puce de bonne qualité en déchets. Nous avons conçu cet élément de chauffage pour éliminer cette variabilité.
Ce qui est important sur le plan technique L’élément central de ce système est un ensemble de lampes halogènes en quartz, qui fournissent une énergie à longue onde directement dans le bateau contenant la puce. Cela permet d’obtenir une uniformité thermique de ±0,1°C dans toute la zone de traitement.
Avec des nodaux inférieurs à 10 nm, on ne peut pas se permettre de négliger cet aspect. La qualité du photorésiste et la sélectivité du processus d’épitaxie dépendent entièrement de la précision du chauffage. Cet élément maintient cette stabilité, 24/7, sans générer de particules – ce qui a été vérifié dans des conditions de salle propre de classe 1.
Pourquoi cela fonctionne bien en production Cet élément permet de réduire les problèmes liés à la lithographie et à l’épitaxie. Lorsque les profils de température sont constants et reproductibles, l’épaisseur du photorésiste reste uniforme après le chauffage, ce qui évite tout problème de rugosité aux bords des lignes lors de l’épitaxie.
Le résultat est moins de réparations et un nombre accru de puces par masque. De plus, l’efficacité énergétique est améliorée, ce qui réduit les coûts opérationnels sans ralentir la vitesse de production.
Ce qu’il faut prévoir Cet élément peut être intégré dans des fours existants, mais il nécessite une alimentation électrique dédiée ainsi qu’une interface de contrôle adaptée pour fonctionner correctement. Le profil d’énergie à longue onde est idéal pour un traitement thermique rapide, mais l’alignement avec le bateau contenant la puce doit être parfait – tout défaut d’alignement provoquera des points chauds locaux.
Nous effectuons des tests sur site pour adapter le profil thermique à votre procédé exact, afin que les performances soient constantes d’un lot à l’autre.