نگهداری فضای کاری در سطح کلاس ۱۰۰، بسیار مهم است.
در دنیای نیمههادیها، حتی یک ذره گرد و غبار یا یک تکه کوچک از اکسید فلزی، میتواند باعث خرابی ویفر شود. اکثر عناصر گرمایشی برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا هر بار که گرم میشوند یا سرد میشوند، گازهایی تولید میکنند یا ذرات کوچکی را آزاد میکنند.
به همین دلیل، از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم. این لامپها به طور خاص برای فضاهای کاری در سطح کلاس ۱۰۰ (ISO 5) طراحی شدهاند؛ زیرا اصلاً باعث ایجاد آلودگی نمیشوند.
راز این لامپها، کوارتز است.
ما از سیلیکا مذاب با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم؛ بنابراین این لامپها در حین کار، هیچ یونی یا ذرهای آزاد نمیکنند. شیشههای معمولی در برابر فشار تغییر شکل میدهند، اما این ماده حتی در دماهای بسیار بالا نیز سفت باقی میماند. این ویژگی باعث میشود که سیستم خلأ تمیز بماند و منطقه گرمایشی نیز استریل باقی بماند.
گرمایش هوشمندانه، کمترین آلودگی.
این لامپها از تابش IR با طول موج کوتاه استفاده میکنند؛ بهترین نکته این است که سطح مورد نظر را مستقیماً گرم میکنند. این کار باعث صرفهجویی در انرژی میشود. این موضوع بسیار مهم است؛ زیرا جلوی ایجاد جریانهای هوایی آزاردهنده را میگیرد. اگر هوا را بیش از حد گرم کنید، خطر انتقال گرد و غبار به منطقه تولید وجود دارد؛ و کسی این را نمیخواهد.
میتوانید واتاژ و طول لامپ را بر اساس نیازهای خود انتخاب کنید. فقط یک نکته مهم: این لامپها در یک منطقه کوچک بسیار داغ میشوند؛ پس اگر از لامپهای با واتاژ بالا استفاده میکنید، مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این دماها باشد؛ در غیر این صورت، لامپها خراب خواهند شد.
جزئیاتی که اهمیت دارند.
ما از کانکتورهای با دقت بالا استفاده میکنیم؛ زیرا اتصالات نامناسب میتوانند باعث مشکلات زیادی شوند. این اتصالات باعث ایجاد جریانهای الکتریکی میشوند، و این جریانها باعث ایجاد ذرات فلزی کوچک میشوند؛ که برای مهندسان تولید، یک فاجعه است.
یک نکته آخر: هنگام اتصال این لامپها، حتماً از دستکشهای بدون ریزدانه استفاده کنید. حتی یک اثر انگشت نیز میتواند باعث ایجاد آلودگی شود؛ زیرا روغن موجود در اثر انگشت، در کوارتز میسوزد و باعث ایجاد نقاط داغ میشود؛ که میتواند لامپ را خراب کند.
خوشبختانه، این لامپها میتوانند جایگزین لامپهای پیشرفته دیگر شوند؛ بنابراین استفاده از آنها بسیار آسان است.