আপনার ওয়েফার টুলগুলোকে অতিরিক্ত উষ্ণ হওয়া থেকে রক্ষা করুন।
আপনি কি কখনও লক্ষ্য করেছেন যে, সাধারণ ইনফ্রারেড হিটিং পদ্ধতিতে তাপ সব জায়গায় ছড়িয়ে যায়? এটা ঠিক যেন ফ্লেমথ্রোয়ার দিয়ে মোমবাতি জ্বালানোর চেষ্টা করা। আপনি চান যে ওয়েফারটি গরম হোক; কিন্তু বাস্তবে সমস্ত ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি সেই তাপ শোষণ করে নেয়।
এই “অপ্রয়োজনীয় তাপ” খুবই বিপজ্জনক। এর ফলে আপনার দামি টুলগুলো অতিরিক্ত উষ্ণ হয়ে যায়; ফলে থার্মাল ড্রিফট ঘটে। সবচেয়ে খারাপ ব্যাপার হলো, কর্মচারীরা পোড়ার ঝুঁকিতে পড়েন।
আমরা এর জন্য একটি ভালো উপায় খুঁজে পেয়েছি: ডাইরেকশনাল হিটিং।
এটা কীভাবে কাজ করে?
সব দিকে তাপ ছড়ানোর পরিবর্তে, আমরা শর্ট-ওয়েভ IR ল্যাম্প ও প্রিসিশন রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি। এটা ঠিক যেন একটি সাধারণ বাল্বের পরিবর্তে লেজার ব্যবহার করা। আমরা তাপশক্তিকে সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে পাঠাই।
ফলাফল? চেম্বারের দেয়ালগুলো ঠান্ডা থাকে। আপনি এখনও RTP-এর জন্য দরকারী দ্রুত তাপ পাচ্ছেন; কিন্তু টুলগুলো অতিরিক্ত গরম হচ্ছে না।
বিস্তারিত ও ত্যাগগুলো
আমরা উচ্চ-ওয়াটেজের কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করি; কারণ এগুলো অত্যন্ত কার্যকর। এগুলো উচ্চ পাওয়ার ডেনসিটির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; তাই ওয়েফারটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়।
কিন্তু এখানে একটি সমস্যা রয়েছে: আপনাকে আপনার কুলিং সিস্টেমটি ভালোভাবে পর্যবেক্ষণ করতে হবে।
যেহেতু তাপশক্তি খুবই কেন্দ্রীভূত থাকে, তাই ফোকাল পয়েন্টে তাপের পরিমাণ খুবই বেশি হয়। যদি আপনার কুলিং সিস্টেম এই চাপ সামলাতে না পারে, তাহলে ওয়েফারে অতিরিক্ত উষ্ণ অঞ্চল তৈরি হয়। এটা একটি ত্যাগ; কিন্তু যদি আপনার স্পেসিফিকেশনগুলো ঠিক থাকে, তাহলে এটা সামলানো সহজ।
কর্মক্ষেত্রকে আরও নিরাপদ করা
যখন দেয়ালগুলো অপ্রয়োজনীয় তাপ শোষণ করে না, তখন মেশিনের বাইরের অংশটি স্পর্শ করার জন্য ঠান্ডা থাকে। এটা টুলগুলো লোড করা বা রক্ষণাবেক্ষণ করা ব্যক্তিদের জন্য অত্যন্ত উপকারী। আর আপনার সিল ও গ্যাসকেটগুলোও দীর্ঘসময় ধরে কাজ করতে পারে। সাধারণত এগুলো অপ্রত্যক্ষ তাপের কারণে দ্রুত নষ্ট হয়ে যায়; কিন্তু এখন এগুলো ঠিকমতো কাজ করতে পারে।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, এগুলো সহজেই বদলানো যায়। আপনি শুধুমাত্র এগুলোকে আপনার বর্তমান কন্ট্রোলারে সংযুক্ত করলেই হবে।