MEMS ওয়েফারগুলোকে সঠিকভাবে শুকানো
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময় আর্দ্রতা দূর করা খুবই কঠিন কাজ। ওয়েফারগুলোকে শুকনো রাখা দরকার; কিন্তু অতিরিক্ত তাপ ব্যবহার করলে ওয়েফারটি বিকৃত হয়ে যাবে অথবা অবশিষ্টাংশ থেকে সমস্যা তৈরি হবে।
এখানেই আমাদের ইনফ্রারেড ড্রাইং হিটারগুলো কাজে আসে। আমরা উচ্চ-তীব্রতার কোয়ার্টজ ল্যাম্প ব্যবহার করি; এগুলো কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই ওয়েফারের পৃষ্ঠকে শুকিয়ে দেয়। এটা খুবই দ্রুত হয়।
শক্তি ও তাপের ভারসাম্য
ব্যাপারটা হলো: শুধুমাত্র শক্তি বাড়িয়ে কাজ করা যায় না। এতে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে।
আমরা চেম্বারের আকার অনুযায়ী উপযুক্ত ওয়্যাটেজ ও ভোল্টেজ নির্ধারণ করতে অনেক সময় ব্যয় করি। অবশ্য, উচ্চ ওয়্যাটেজ দিলে কাজের গতি বাড়ে; কিন্তু এতে পাওয়ার সাপ্লাইয়ে চাপ পড়ে। পৃষ্ঠের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার জন্য ল্যাম্পের দূরত্ব ও ডিউটি সাইকেল ঠিক রাখা দরকার।
ল্যাম্পগুলোর গুণমান
আমরা ল্যাম্পের জন্য উচ্চ-গুণমানের কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। কেন? কারণ আপনি নিশ্চয়ই চাইবেন না যে ল্যাম্প থেকে নির্গত গ্যাসগুলো আপনার ক্লিনরুমকে দূষিত করুক।
আমরা শর্ট-ওয়েভ কোটিংও ব্যবহার করি। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রেডিয়েশন আর্দ্রতা দূর করতে লং-ওয়েভ রেডিয়েশনের তুলনায় অনেক ভালো। আর যেহেতু এগুলো ক্রমাগত চালু-বন্ধ হয়, তাই আমরা এগুলোতে মজবুত কানেক্টর ব্যবহার করি; যাতে কয়েক সপ্তাহ পরেই এগুলো নষ্ট না হয়।
বাস্তব পরিস্থিতি
সত্যি বলতে, এই হিটারগুলোকে MEMS লাইনে ব্যবহার করা খুবই কঠিন। তাপের ঘনত্ব খুব বেশি। যদি আপনার কাছে ভালো কুলিং সিস্টেম না থাকে, তাহলে এই তাপ আপনার যন্ত্রের চেসিসকে ক্ষতিগ্রস্ত করবে। আর যখন আশেপাশের ইলেকট্রনিক্স যন্ত্রগুলো অতিরিক্ত তাপের কারণে ক্ষতিগ্রস্ত হয়, তখন আপনার সমস্যা আরও বাড়ে।
কিছু পরামর্শ: ল্যাম্পগুলোর জন্য ড্রপ-ইন রিপ্লেসমেন্ট সিস্টেম ব্যবহার করুন। এতে রক্ষণাবেক্ষণ সহজ হয় এবং ডাউনটাইমও কম হয়। আর, পুরো ব্যাচ তৈরি করার আগে সবসময় পাইরোমিটার ব্যবহার করে পৃষ্ঠের তাপমাত্রা পরীক্ষা করুন। এটা ছোট্ট একটি পদক্ষেপ; কিন্তু এতে অনেক সিলিকন সাশ্রয় হয়।