
ফ্যাব ড্রাইং প্রক্রিয়ায় দূষণ রোধ করা
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে একটি ছোট্ট ধূলিকণাও আপনার ওয়েফারের গুণমানকে কমিয়ে দেয়। এটা খুবই বিরক্তিকর। বেশিরভাগ হিটিং এলিমেন্টই এর জন্য দায়ী—ঠিক সেই সময়েই এগুলো থেকে ধূলিকণাগুলো বেরিয়ে আসে।
এই কারণেই আমরা আমাদের IR ল্যাম্পগুলোর জন্য উচ্চ-পরিশুদ্ধতার সিনথেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এটা দূষণ রোধ করে।
কেন এটা কার্যকর?
সাধারণ কাঁচ উচ্চ তাপমাত্রার সংস্পর্শে এলে ভেঙে যায় বা অতি ক্ষুদ্র কণাগুলো বেরিয়ে আসে। আমরা উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; কারণ এটা উচ্চ তাপমাত্রাতেও অক্ষুণ্ণ থাকে।
আমরা অপ্রয়োজনীয় উপাদানগুলো বাদ দিয়েছি—কোনো আঠা, কোনো অর্গানিক কোটিং নেই। এগুলো প্রথম কয়েকবার ব্যবহারের পরই পুড়ে যায় এবং আপনার প্রক্রিয়াকে নষ্ট করে দেয়।
আমরা শর্ট-ওয়েভ IR বিকিরণও ব্যবহার করি। এর ফলে ওয়েফারের চারপাশের বাতাস গরম না হয়ে সরাসরি সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়। কম গরম বাতাস থাকার ফলে মেঝে থেকে কম ধূলিকণা উড়ে আসে। খুবই সহজ।
নির্মাণ প্রক্রিয়া
আমরা সেইসব সস্তা IR টিউবগুলো দেখেছি—যেগুলো খুব দ্রুতই নষ্ট হয়ে যায়। এটা খুবই বিরক্তিকর। আমরা হ্যালোজেন ফিলিং এবং কোয়ার্টজের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করে এই সমস্যা এড়াই। এটা যথেষ্ট তাপ পাওয়া এবং ল্যাম্পটি টেকসই রাখার মধ্যে একটি ভারসাম্য।
কিন্তু একটি পরামর্শ: আপনার পাওয়ার ডেনসিটিটি নজরে রাখুন। যদি আপনি উচ্চ-ওয়াটেজের ল্যাম্পটি ছোট জায়গায় ব্যবহার করেন, তাহলে আপনার ব্র্যাকেটগুলোতে অতিরিক্ত তাপ চাপ পড়বে। যদি আপনার কুলিং ব্যবস্থা যথেষ্ট না হয়, তাহলে ল্যাম্পটি ক্ষতিগ্রস্ত হবে।
ফ্যাবে ব্যবহার
এই ল্যাম্পগুলো সরাসরি বদলানোর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। আপনাকে পুরো ড্রাইং মডিউলটি পুনর্নির্মাণ করার দরকার নেই; এগুলো সরাসরি বসে যায়। আমরা প্রিসিশন-মেশড এন্ড ক্যাপ ব্যবহার করি, যাতে অভ্যন্তরীণ ফিলামেন্টটি অক্ষুণ্ণ থাকে।
ফলাফল? আপনি একটি পরিষ্কার, শুষ্ক তাপ সূত্র পাবেন। কোনো ধাতব আয়ন, কোনো কার্বন অবশেষ নেই। যেসব ইঞ্জিনিয়াররা ড্রাইং প্রক্রিয়ায় দূষণের সমস্যায় ভোগেন, তাদের জন্য এটাই সমাধান।