ফ্যাব ফ্লোরে, শুকানোর জন্য যে পরিমাণ শক্তি ব্যয় হয়, সেটা প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চালানোর জন্য ব্যবহার করা যায় না। ঐতিহ্যবাহী ড্রায়ারগুলো থার্মাল ল্যাগ কমানোর জন্য অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহার করে; এর ফলে শক্তি নষ্ট হয় এবং ফটোরেসিস্টের গুণমানও ক্ষতিগ্রস্ত হয়। আমরা এমন একটি ড্রায়িং প্ল্যাটফর্ম তৈরি করেছি, যা এই অপচয় কমায় এবং লিথোগ্রাফি-স্তরের থার্মাল নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা মিডিয়াম-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; এছাড়া ক্লোজড-লুপ থিন-ফিল্ম সেন্সর অ্যারে ব্যবহার করে ওয়েফারের তাপমাত্রা +/–0.1°C এর মধ্যে ধরে রাখা হয়। এর ফলে পুনরাবৃত্তিযোগ্য প্রক্রিয়া সম্ভব হয়, আর CD-এর নিয়ন্ত্রণও ভালো থাকে। এটি 230 VAC ভোল্টে চলে; এর আকার ছোট। এমিটার অ্যারেগুলো মডিউলার ধরনের, তাই রক্ষণাবেক্ষণের সময় দ্রুত মডিউলগুলো পরিবর্তন করা যায়। ক্লিনরুমে এটি ক্লাস 1–100 মানে কাজ করে; কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। দ্রুত প্রতিক্রিয়া ও ন্যূনতম অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহারের ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়।
বাস্তবে এটি কেন কার্যকর?
শুকানো মানে শুধুমাত্র দ্রবণগুলো বের করা নয়; বরং এক্সপোজারের আগে ও ট্র্যাকগুলো যুক্ত হওয়ার আগে ফিল্মটিকে স্থিতিশীল রাখা। এই প্ল্যাটফর্মের সাহায্যে প্রতি ব্যাচে ব্যবহৃত শক্তি কমে যায়, আর ওয়েফারের সমতাও বজায় থাকে। এর ফলে এজ-বিড সমস্যা ও অবশিষ্টাংশ কমে যায়; ফলে কম অপচয় হয়। আমরা দেখেছি যে এটি 24/7 চালিত লাইনগুলোতেও কার্যকর কাজ করে; বহু-শিফট অপারেশনেও কোনো সমস্যা হয় না। পুনরাবৃত্তিযোগ্যতার কারণে বিভিন্ন পণ্য ও নোডগুলোর জন্য এটি উপযুক্ত।
আগে থেকে কী জানা দরকার?
রিট্রোফিট করার জন্য বিদ্যমান ইন্টারফেসের সাথে সামঞ্জস্য করা প্রয়োজন; আর এক্সহস্ট অ্যাম্পিয়ারও নির্ধারণ করতে হয়। PID ম্যাপটি আপনার চেম্বারের জ্যামিতি ও দ্রবণের পরিমাণ অনুযায়ী সামঞ্জস্য করতে কিছুটা সময় লাগবে। একবার এটি সেট হয়ে গেলে, আপনি একটি শক্তি-সাশ্রয়ী সমাধান পাবেন; এটা আন্তর্জাতিক মানদণ্ড অনুযায়ী তৈরি হয়েছে।