http://warm-ir-heater-warehouse.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Warm IR Heater Warehouse Hugo zh Fri, 24 Jul 2026 08:52:49 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/zh/posts/technical-specifications-for-mems-sensor-wafer-drying-heaters/ Fri, 24 Jul 2026 08:52:49 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/zh/posts/technical-specifications-for-mems-sensor-wafer-drying-heaters/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="正确干燥mems晶圆的方法">正确干燥MEMS晶圆的方法</h1> <p>在制造MEMS传感器时，去除晶圆上<a href="https://o-yate.net">的水分是一</a>项颇具挑战性的任务。虽然需要让晶圆保持干燥状态，但也不能直接用高温来处理它，因为那样会导致基板变形或留下残留物。</p> <p>这就是我们的红外线干燥器发挥作用的地方。我们使用高强度的石英灯，这些灯能够在几秒钟内迅速干燥晶圆表面。速度非常快。</p> <h2 id="功率与温度的平衡">功率与温度的平衡</h2> <p>其实，不能仅仅通过增加功率来解决这个问题。如果这么做的话，就会产生局部过热现象，从而损坏晶圆。</p>