http://warm-ir-heater-warehouse.com/vi/tags/x/ Recent content in X on Warm IR Heater Warehouse Hugo vi Tue, 02 Jun 2026 03:30:53 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/vi/posts/x-ray-diffraction-xrd-heating-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 03:30:53 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/vi/posts/x-ray-diffraction-xrd-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Đèn sưởi dùng trong nhiễu xạ tia X (XRD)"></p> <p>Trên sàn sản xuất, một tấm wafer 300 mm đặt trên dây chuyền, chờ quá trình soft bake để cố định cấu hình photoresist. Nếu đĩa nóng lệch dù chỉ một chút, kiểm soát chiều rộng đường mạch sẽ bị sai lệch và toàn bộ lô có thể bị loại bỏ. Chúng tôi đã thiết kế đèn sưởi XRD để loại bỏ sự biến động đó.</p> <h2 id="những-điểm-kỹ-thuật-quan-trọng">Những điểm kỹ thuật quan trọng</h2> <p>Đèn hoạt động với bước sóng hồng ngoại ngắn sử dụng phần tử halogen thạch anh, truyền nhiệt trực tiếp đến vị trí cần thiết. Độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer duy trì trong khoảng ±0.1°C, và độ lặp lại điểm đặt nhiệt giữ ổn định qua nhiều lần chạy. Đèn được vận hành trong phòng sạch Class 1–100, trong quá trình hoạt động lượng hạt sinh ra dưới 0.1 hạt/cm³. Công suất đầu ra ổn định trên 5.000+ giờ, với độ trôi cường độ dưới 5%.</p>