اپنے IR کیورنگ سسٹم سے آزون کو ختم کرنا
جب آپ سیمی کنڈکٹر بناتے ہیں، تو آپ کو ایسے ڈرائنگ پروسیس کی ضرورت نہیں ہوتی جس سے آپ کے ویفرز خراب ہو جائیں، یا پھر آپ کا کلین روم خطرناک حالت میں آ جائے۔ اسی لئے ہم آزون سے پاک انفراریڈ (IR) لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔ اس سے ہر کوئی “گرین” اور فارملڈہائڈ فری معیارات کو حاصل کر سکتا ہے، بغیر کسی پریشانی کے۔
آزون کیوں مشکلات پیدا کرتا ہے؟
مسئلہ یہ ہے کہ معیاری شارٹ-ویو IR لیمپ، 185nm سے 254nm کی حد میں تابکاری پیدا کرتے ہیں۔ یہ تابکاری ہوا میں موجود آکسیجن کے ساتھ ردِعمل کرتی ہے، جس سے آزون پیدا ہوتا ہے۔
فیکٹریوں میں آزون ایک بہت بڑا مسئلہ ہے؛ یہ آپ کے آلات کو نقصان پہنچاتا ہے، اور مشینوں کو چلانے والے لوگوں کے لئے ہوا کو خطرناک بنا دیتا ہے۔ کوئی بھی ایسا نہیں چاہتا۔
ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے خصوصی کوٹنگز یا ڈوپنٹس والے کوارٹز ٹیوبوں کا استعمال کرتے ہیں۔ اسے VUV (ویکیوم الٹراوایلیٹ) سپیکٹرم کے لئے ایک فلٹر کے طور پر سوچیں۔ 200nm سے کم تابکاری کو روک کر، لیمپ پھر بھی کیورنگ کے لئے درکار حرارت فراہم کرتا ہے، لیکن آزون پیدا ہونے والے کیمیائی ردِعمل کو روک دیتا ہے۔ بہت آسان ہے۔
اس کا آپ کے کام پر کیا اثر ہے؟
بہترین بات یہ ہے کہ آپ کو ہوا سے گیسوں کو صاف کرنے کے لئے بڑے، بھاری سسٹموں کی ضرورت نہیں ہے۔ آپ کا کیورنگ سسٹم کم جگہ لیتا ہے، اور آپ غیرضروری وینٹیلیشن پر انرجی ضائع کرنے سے بچ جاتے ہیں۔
اس کے علاوہ، یہ لیمپ انرجی کو براہِ راست سبسٹریٹ میں منتقل کرتے ہیں۔ آپ کو پارٹ کے ارد گرد کی ہوا کو گرم کرنے میں وقت ضائع کرنے کی ضرورت نہیں ہے؛ بلکہ آپ پارٹ کو ہی گرم کرتے ہیں۔ یہی وجہ ہے کہ یہ طریقہ ایکو-فرینڈلی ریزنز اور فارملڈہائڈ فری سولڈر پیسٹوں کے لئے بہت مفید ہے۔
صرف ایک بات یاد رکھیں: چونکہ ہم VUV سپیکٹرم کو فلٹر کرتے ہیں، اس لئے انرجی کی تقسیم میں تھوڑی تبدیلی آ جاتی ہے۔ آپ کو اپنی کنویئر بیلٹ کی رفتار یا وقت کو ایڈجسٹ کرنے کی ضرورت ہو سکتی ہے، تاکہ مطلوبہ درجہ حرارت حاصل ہو سکے۔ اگر آپ ہائی-تھروپٹ لائن چلاتے ہیں، تو اپنی ریمپ-اپ ریٹ کو چیک کریں، تاکہ ہر چیز مناسب حالت میں رہے۔
اسے کیسے استعمال کریں؟
ہم نے ان لیمپوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ وہ براہِ راست استعمال کئے جا سکیں۔ اگر آپ کے پاس پہلے سے IR ٹنلز موجود ہیں، تو یہ لیمپ بھی ان میں براہِ راست استعمال کئے جا سکتے ہیں۔ یہ لیمپ معیاری صنعتی وولٹیج پر کام کرتے ہیں، لہذا آپ انہیں اپنے موجودہ کنٹرولرز میں جوڑ کر استعمال کر سکتے ہیں۔
ایک مشورہ: کوارٹز ٹیوبوں کو صاف رکھیں۔ اگر گلاس پر گرد جم جائے، تو گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں، جس سے فلامنٹ جل جاتا ہے۔ انہیں صاف رکھیں، تاکہ وہ زیادہ عرصے تک کام کر سکیں۔