
آئی آر حرارت بمقابلہ گرم ہوا: ویفر کو خشک کرنے میں وقت ضائع کرنا بند کریں۔
اگر آپ اب بھی سیمی کنڈکٹر کی پروسیسنگ کے لئے گرم ہوا کا استعمال کر رہے ہیں، تو دراصل آپ وقت کے ساتھ جنگ لڑ رہے ہیں۔
مسئلہ یہ ہے کہ ہوا حرارت کو منتقل کرنے میں بہت کمزور ہے۔ جب آپ فورسڈ کنوکشن کا استعمال کرتے ہیں، تو پہلے ہوا کو گرم کرنا پڑتا ہے، پھر چیمبر کو، اور آخر میں ویفر کو۔ یہ ایک سست عمل ہے۔ اس سے پیداواری وقت میں کافی تاخیر ہوتی ہے۔
درمیانی عنصر کو ختم کرنا
اسی لئے ہم IR لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔ ہوا کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کے بجائے، IR لیمپ الیکٹرومیگنیٹک شعاعوں کو براہ راست ویفر کی سطح پر بھیجتا ہے۔ یہ فوری عمل ہے۔ ہم خصوصی ریفلیکٹرز کا استعمال کرتے ہیں تاکہ یہ توانائی صرف اسی جگہ پہنچے جہاں اس کی ضرورت ہے۔ اس طرح آپ کو غیر ضروری طور پر مشین کے ڈھانچے کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔ آپ چند سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں۔ جب آپ انتظار کرنا بند کر دیتے ہیں، تو آپ کی پیداواری صلاحیت بڑھ جاتی ہے۔
ریفلیکٹرز کی اہمیت
حقیقی جادو ریفلیکٹرز کے ڈیزائن میں ہے۔ اگر آپ سستے ریفلیکٹرز استعمال کرتے ہیں، تو دراصل آپ اپنی طاقت کا نصف حصہ ضائع کر رہے ہیں۔ ہم اعلیٰ ریفلیکٹوٹی والے کوٹنگز کا استعمال کرتے ہیں تاکہ ہر فوٹون ویفر پر واپس پہنچ سکے۔ اس سے ویفر میں یکساں حرارت پیدا ہوتی ہے، اور اہم بات یہ ہے کہ ویفر ٹیڑھا نہیں ہوتا۔
خامیاں
یہ کوئی جادوئی چیز نہیں ہے۔ اس کے بھی کچھ نقصانات ہیں۔ اعلیٰ کثافت والے IR لیمپ بہت گرم ہو جاتے ہیں۔ اگر ریفلیکٹرز مناسب نہ ہوں، یا کولنگ فینز اس حرارت کو سنبھال نہ سکیں، تو لیمپ ٹوٹ سکتا ہے، یا ہاؤسنگ ٹیڑھا ہو سکتا ہے۔ آپ کو اس طاقت کو کولنگ سسٹم کے ساتھ متوازن کرنا ہوگا۔
حقیقت
جو لوگ کنوکشن ہیٹنگ کی سست رفتاری سے تنگ آ چکے ہیں، ان کے لئے IR ہی بہترین حل ہے۔ یہ پروسیسنگ اسٹیشن کے سائز کو کم کرتا ہے، اور ہوا کے استعمال سے ہونے والے وقت کے نقصان کو ختم کرتا ہے۔